판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192
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LAM RESEARCH/NOVELLUS SABER XT 원자로는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고정밀 저압 플라즈마 처리 장비입니다. 무선 주파수 플라즈마 (radio-frequency plasma) 와 높은 기판 온도를 사용하여이 원자로는 표면 수정 및 에치 프로세스를 수행 할 수 있습니다. NOVELLUS SABRE XT 원자로는 생산 등급의 플랫폼을 기반으로 설계되었으며, 독점적 인 RF 소스 기술을 갖추고 있으며, 우수한 프로세스 반복성, 제어 및 개선 된 플라즈마 균일성을 제공합니다. 에치 프로세스에 대한 뛰어난 표면 품질 및 하위 옹스트롬 제어를 달성합니다. 기질은 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수있는 쿼츠 히터 플레이트 (quartz heater plate) 에 의해 가열됩니다. 공정 가스는 인라인 가스 박스를 통해 에치 챔버에 도입됩니다. 가스 박스 라인은 가스 꽃 미터, 격리 밸브 및 빠른 연결 피팅으로 GGA (Gas Gauge Assembly) 에 연결되어 유지 보수가 쉽습니다. 원자로는 배치 처리를 위해 설계되었으며, 최대 4 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH SABRE XT는 또한 낮은 유지 보수 하중 잠금 장치 및 카세트 핸들러와 온도 조절 공정 가스 분배 박스를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 프로세스 매개변수 모니터링을 위한 정교한 자동 제어 장치 (Automated Control Unit) 가 있어 처리 시간 단축, 수율 증가, 프로세스 반복 능력 및 안정성 향상 등의 효과를 제공합니다. 이 기계의 고급 성능, 제어 및 처리 일관성은 SABRE XT 원자로를 고급 반도체 생산을위한 비용 효율적이고 안정적인 에치 (etch) 솔루션으로 만듭니다. 저압 플라즈마 소스, 쿼츠 히터 플레이트, 균일 한 온도 분포 및 인라인 가스 처리로 인해 나노 스케일 장치 제작에 이상적인 선택이되었습니다.
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