판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector는 전 세계 반도체 제작 산업을 위해 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 원자로입니다. 고급 기술 노드 (advanced technology node) 의 가장 정확한 요구 사항을 충족시켜 탁월한 성능을 제공합니다. NOVELLUS Concept 3 Vector (NOVELLUS Concept 3 Vector) 는 고유한 고해상도 쇼어 헤드와 Etch Tube 아키텍처를 통합하여 처리량이 가장 작은 기능 형상을 처리할 수 있습니다. 제작된 통일성 (Uniformity) 및 고급 챔버 (Advanced Chamber) 설계는 높은 수준의 반복 기능을 제공하여 최종 제품 결함 비율을 줄이고 생산 요구를 간소화 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Concept 3 Vector는 종합적인 전원 제어, 펜던트, 오프 가스 분별 및 사전 시딩 기능을 갖춘 유연한 RF 전원 공급 장치를 사용합니다. 타의 추종을 불허하는 다재다능성을 제공하며 다양한 챔버 (chamber), 챔버 (chamber) 크기, 기판 재료와 함께 작동하도록 구성할 수 있습니다. 컨셉트 3 벡터 (Concept 3 Vector) 는 오늘날의 고급 기술 노드에서 가장 높은 공정 온도 및 온도 균일성 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 프로세스 제어를 철저히 수행할 수 있도록 하는 첨단 냉각 기술 (Advanced Cooling Technologies) 을 통해 최고의 제품 품질 및 수율을 보장합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector는 또한 광범위한 가스 흐름 유연성을 제공합니다. 벡터 (Vector) 는 종합적인 가스선 (gas line) 과 유통 기술을 통해 각 필름 형성 전구체를 정확하게 관리하고 지원 가스가 필요하므로 다양한 프로세스에 쉽게 조정할 수 있습니다. 마지막으로 NOVELLUS Concept 3 Vector (NOVELLUS Concept 3 Vector) 는 포괄적인 진단 기능 및 내장형 툴을 통해 가장 높은 수준의 제어, 정확성 및 일관성으로 프로세스를 최적화할 수 있습니다. LAM 리서치 컨셉트 3 벡터 (LAM RESEARCH Concept 3 Vector) 는 가스 라인 제어 및 온도 프로파일링 (Tempering Profiling) 을 통해 최적화 및 예측 유지 관리 기능을 처리하기 위해 혁신의 경계를 넓히는 데 필요한 도구를 고객에게 제공합니다.