판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261722

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector (C3V) 는 반도체 장치 제조에 사용하기 위해 고품질 반응성 이온을 생산하도록 설계된 업계 최고의 플라즈마 원자로 기술입니다. 이 기술은 높은 증착율로 높은 에너지 이온 (eergetic ion) 을 생산할 수 있으며, 넓은 지역에 비해 매우 높은 증착 균일성을 제공합니다. C3V 원자로는 일련의 원형 격자와 채널로 둘러싸인 말굽 모양의 메인 챔버 (main chamber) 로 구성됩니다. 주 "챔버 '의 중앙 에는 전기장 이 적용 되는 환형 음극 이 있다. "아르곤 '과 같은 중성" 가스' 가 음극 에 미치는 영향 에 의하여 이 전기장 에서 "이온 '이 생성 된다. 그런 다음, 이러 한 "이온 '은 원형 격자 중 하나 를 통해 조종 되고, 다양 한 강도 와 길이 의 일련의" 펄스' 장 을 통과 한다. 이 조정 된 펄스 필드 서열 (sequence of pulse field) 을 통해 C3V 원자로는 매우 균일 한 방식으로 매우 활기 넘치는 이온 빔을 생성 할 수있다. C3V 원자로 는 그 성능 을 극대화 하기 위해 전기장 에서 발생 하는 열 을 제거 하는 데 도움 이 되는 냉각 장치 (cooling system) 와 전체 "챔버 '에 균일 한 공정 상태 를 유지 하는 자동 압력 조절 장치 (automatic pressure regulation system) 를 갖추고 있다. 또한, C3V는 증착 균일성 및 반복성을 보장하기 위해 이온 빔의 에너지, 종, 강도를 실시간으로 측정하는 다수의 독립적 인 검출 시스템을 특징으로한다. C3V 는 고성능 (HPS) 기능 이외에도 유지 보수 및 운영이 용이하여 광범위한 구성 (Fabrication) 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. 원자로의 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 원격 모니터링 및 제어를 가능하게 하며, 모든 작동 매개변수를 최적의 프로세스 성능에 맞게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 C3V는 효율적이고 안정적으로 실행되며, 높은 수율로 넓은 면적의 증착 균일성, 수율, 수명 주기 성능을 제공합니다. C3V 원자로는 많은 반도체 제작 프로세스에 대한 업계 최고의 솔루션입니다.