판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929
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ID: 9294929
CVD System, 12"
Process: PESiN
VAT 075 Slit valve
VAT Pendulum valve
Signal tower
MC3 Module controller
EMO
Host interface: SECS
LCD Monitor, 12"
Process module:
Chamber body
Chamber process: PESION
Process clean type: RPC
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Pod loader
MC3 Module controller
SMC Load lock slit valve
C2027-D01 Trust controller
VAT Pendulum pressure control valve
VAT 075 ATM Load lock valve
AX7645 RPC Generator
Servo spindle lift
ADVANCED ENERGY APEX-5513 HF Generator
CLX2500 LF Generator
Navigator 10013 RF Match
LTM Assembly, P/N: 02-169180-01 Rev E
RF Interface B/D, P/N: 26-164535-00
Chamber gas box:
MFC Number / Name / Size / Make / Model
MFC 1 / SiH4 / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 2 / N2O / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 5 / He / 20 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 6 / NH3 / 1 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 7 / N2O / 25 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 8 / O2 / 30 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 9 / NF3 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC A / N2O / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC C / Ar / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC D / N2 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
Missing parts:
Load lock dry pump
Turbo molecular dry pump
Module dry pump
UPS Power: 120 V, 3 Phase, 3-Wires
Power supply: 208 V, 3 Phase, 5-Wires
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 반도체 장치 제조의 용량과 처리량을 높이기 위해 설계된 혁신적인 플라즈마 처리 원자로입니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 원자로는 혁신적인 아키텍처를 사용하여 복잡한 생산 작업의 성능을 극대화합니다. 4 개의 독립적 인 플라즈마 튜브를 사용하며, 각각 본격적인 플라즈마 에치 챔버와 동일한 고출력 플라즈마를 제공 할 수 있습니다. 이러한 플라즈마 튜브는 프로세스를 버퍼링하는 최첨단 설계로 통합되어 보다 효율적인 이벤트 타이밍 (event timing), 향상된 주기 시간 (cycle time), 최소한의 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, Vector Express는 플라즈마 소스에 비활성 및 반응성 가스를 직접 공급하는 온보드 가스 매니 폴드를 특징으로합니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 매개변수가 더 정확해지고 작동 시간이 훨씬 길어져 처리량 (throughput) 과 반복 (repeatability) 이 향상됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 또한 매우 견고하고 신뢰할 수있는 서셉터 플레이트 (susceptor plate) 를 갖추고 있으며, 공정 후 냉각 중에 열 충격을 견딜 수 있으며, 에치 결과의 균일성을 제공합니다. 마지막으로, 이 원자로에는 압력 제어를위한 새로운 혁신적인 시스템 (Revolutionary System) 이 장착되어 있는데, 이는 챔버가 항상 최적의 압력 환경에서 작동하는지 확인하고, 수율과 제품 품질을 향상시킵니다. NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 반도체 장치 제조를 위한 안정적인 고성능 플라즈마 처리 솔루션을 제공합니다.
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