판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 유전체 층을 반도체 웨이퍼에 배치하도록 특별히 설계된 고급 원자로입니다. 이러한 혁신적인 설계는 일관성 (consistent unifority) 을 갖춘 높은 처리량을 제공하여 가장 까다로운 운영 요구 사항을 충족할 수 있게 해 줍니다. Vector Express는 두 개의 별개의 영역이있는 2 단계 플라즈마 원자로를 갖추고 있습니다. 첫 번째 영역은 저전력 (Low Power) 및 고전력 (High Power) 수준에서 작동 할 수있는 높은 진공 영역입니다. 이 챔버 (Chamber) 의 높은 전력 수준은 재료 증착의 증착률과 균일성을 높입니다. 두 번째 영역은 낮은 진공 영역으로, 오염을 최소화하고 균일성을 제어하도록 설계되었습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 의 세 번째 영역은 배기 영역으로, 처리 중 웨이퍼를 완전히 분리하고 시스템에서 원치 않는 입자와 가스를 제거하도록 설계되었습니다. Vector Express 원자로는 4 가지 주요 구성 요소 인 프리 히터/포스트 애닐러 챔버, 바이어스 스퍼터, 전자 사이클로트론 공명실 및 진공 진공 챔버로 구성됩니다. 프리 히터/포스트 아닐러 챔버 (pre-heater/post-annealer chamber) 는 적외선 램프와 뜨거운 질소 가스를 사용하여 바이어스 스퍼터 공정 전후에 웨이퍼를 가열합니다. 바이어스 스퍼터 챔버 (bias sputter chamber) 에는 저전력 수준에서 웨이퍼를 폭격하는 정전기 장 (electrostatic field) 이 장착되어 정밀하고 균일한 층의 재료를 증착 할 수 있습니다. 전자 사이클로트론 공명 챔버 (electron cyclotron resonance chamber) 는 고주파 전파를 사용하여 주변 가스의 원자를 흥분시켜, 특이한 편광 특성을 갖는 유전체 물질을 퇴적시키는 데 사용될 수있는 플라즈마 환경을 생성한다. 마지막 으로, 진공실 은 전체 과정 에 극히 깨끗 한 환경 을 제공 하는 데 사용 되어, 퇴적 물질 의 오염 을 최소화 한다. 그렇다. NOVELLUS의 NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 반도체 웨이퍼에 유전체를 빠르고 정확하게 증착 할 수있는 혁신적인 원자로입니다. 이 고급 설계를 통해 균일성이 높은 안정적인 칩셋을 생산하는 데 필요한 시간과 자원을 대폭 줄일 수 있습니다 (영문). 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 저전력 수준 (LP) 과 고전력 (HP) 으로 작동하여 더 효율적인 증착율과 증착재의 균일성을 보장하며, 원자로 (Reactor) 가 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 정전기파 (Electrostatic Field), 무선 주파수파 (Radio Frequency Wave) 및 깨끗한 환경을 활용하여 매우 균일한 재료를 증착하여 신뢰할 수 있는 고성능 칩셋을 생산할 수 있습니다.