판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9257029
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
System, 12"
Process: Advanced ashable hard mask
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user: Interface flat panel
Right load lock pump
Express load lock pump
Light tower audio buzzer
Wall / Flash mount
Atmospheric robot: Friction end effector
Options:
Signal tower
IMM Readiness option over left load lock
Third FOUP
(3) FOUP RF ID readers
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display
Heated process manometer
Leak check shut off valve
No HDD
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 고정밀 응용 분야에 사용되는 저항성 에치 원자로입니다. 이 고급 도구는 에치 매개변수 (etch parameters) 를 월등히 제어하여 복잡한 설계에서도 더 세밀한 에칭 형상을 가능하게 합니다. Vector Express는 250mm 웨이퍼 용량으로, 높은 처리율로 실행할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼와 진공 척 (vacuum chuck) 사이에 신뢰할 수있는 프로세스 연결을 제공하는 Endurium ™ 결합 장비로 구성됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 에는 에칭 프로세스를 정확하게 포지셔닝 할 수있는 맞춤형 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이 로봇 암은 endurium ™ 결합 시스템과 연결되어 X, Y 및 Z 축에서 최대 30mm를 이동할 수 있습니다. 이 도구는 또한 웨이퍼 모양을 쉽게 감지하고 그에 따라 에치 프로파일을 조정할 수있는 3D 스캔 헤드 (3D scan head) 를 제공합니다. Vector Express (Vector Express) 는 사용자가 여러 단계로 에칭 프로세스를 프로그래밍할 수 있는 통합 제어 장치 (Control Unit) 를 통해 세밀하게 조정된 정확성과 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 또한, 통합 이중 (플라즈마 및 바이어스) 소스 및 이중 RF 생성기를 사용하면 등방성 에치 특성에 영향을 미치지 않고 매우 작은 선 너비와 코너 튜닝 기능이있는 매우 복잡한 3 차원 패턴을 가져올 수 있습니다. 이 기계는 또한 좋은 프로세스 반복성을 제공합니다. 이것은 제거 및 배기 챔버 역할을하는 2 개의 추가 챔버 (chamber) 로 인해 가능합니다. 이것은 챔버 오염을 줄이고 시간이 지남에 따라 프로세스 안정성을 높이는 데 도움이됩니다. 다용도 소스 구성과 결합된 이러한 추가 기능은 사용자에게 탁월한 성능, 프로세스 유연성을 제공합니다. 또한 Vector Express는 컴팩트한 디자인과 강력한 성능으로 정밀 에치 (precision etch) 프로세스 및 어플리케이션에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다