판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 웨이퍼 생산에 탁월한 프로세스 제어 및 균일성을 제공하는 고성능 배치 원자로 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 요구 사항 변화에 따라 설정 (setting) 을 쉽게 설정하고 수정할 수 있는 자동화된 인터페이스를 갖추고 있습니다. 여러 개의 챔버 (chamber) 및 필라멘트 (filament) 난방 기능이 장착되어 있어 공정 온도의 정밀 제어 및 웨이퍼 수율 및 균일성이 크게 향상됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 정확하고 반복 가능한 방전 및 에치를 제공하는 정밀 제어 난방 및 냉각 아키텍처로 설계되었습니다. 이 장치에는 최소 열 손상으로 레이어 별 웨이퍼 축적을 가능하게하는 통합 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기능이 장착 된 독특한 직사각형 챔버가 있습니다. 고주파 전력 (High Frequency Power) 과 비행 시간 (Time of Flight) 질량 분석법을 결합하여 웨이퍼 필름 특성을 안정적으로 조정합니다. 이 고유 한 원자로 (reactor) 를 사용하면 일괄 처리 시 처리량이 높아 중단 없이 최대 7 일 동안 실행할 수 있습니다. 또한 배기 여과가 가능한 여러 가스 캐비닛을 사용하여 최고 품질의 결과를 보장합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 압력과 온도 측정의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면에서 입자 손실을 최소화하는 효율적인 배기 기계를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 잠재적 인 오염 또는 구조적 문제를 방지하는 여러 가지 안전 및 모니터링 (Safety and Monitor) 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 광 정렬 확인 (Optical Alignment Verification), 가연성 가스 방출에 대한 유출 모니터링 자산, 웨이퍼 표면 온도의 균일성을 유지하는 온도 모니터링 모델이 포함됩니다. 전반적으로 NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 프로세스 제어 및 균일성, 높은 처리량, 정확한 웨이퍼 구축, 향상된 안전 및 모니터링 기능을 제공하는 신뢰할 수있는 고성능 원자로입니다. 또한 고급 (Advanced) 기술을 활용하여 온도와 에치를 정확하게 제어할 수 있으며, 반복 가능한 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. Vector Express에 의존함으로써, 생산 라인은 프로세스 수율을 높이고 비용을 줄일 수 있습니다.