판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 생산 환경을 위해 설계된 강력한 원자로입니다. 이 제품은 정교한 진공 기반 플랫폼을 활용하여 탁월한 성능, 효율성, 신뢰성을 제공하는 고급 (advanced) 장비입니다. 혁신적인 디자인은 통합 벡터 링 시스템 (integrated vectoring system) 을 사용하여 가스와 플라즈마를 넓은 표면적에 분산시켜 균일성을 향상시킵니다. 이 장치는 완전하게 자동화되었으며, 고급 진단 및 실시간 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 정교한 제어 기계는 정확한 열 균형, 압력 제어 및 챔버 청결을 가능하게합니다. NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 효율적인 박막 증착에 적합합니다. 여기에는 RF 생성기, 펌프 인터페이스, 맞춤형 프로세스 챔버 배기, 플라즈마 진단 및 전체 자동화가 포함됩니다. LAM RESEARCH Concept 3 Vector Express의 놀라운 기능은 통합 벡터 도구입니다. 이것 은 "플라즈마 '와 기타" 가스' 를 표적 기판 의 표면 에 균등 하게 분배 하는 강력 한 "가스 '조절" 스태브' 들 이다. 이것은 반응성 프로세스에서도 영화 균일성을 향상시킵니다. 또한 최하위 시간을 높이고 전반적인 프로세스 효율성을 향상시킵니다. 혁신적인 공정 가스 제어 자산은 빠른 응답 시간, 가스 구성의 정확한 제어, 개선 된 모델 청결을 제공합니다. 그것 은 "챔버 '전체 에 걸쳐 최적 의 환경 균형 을 유지 하여 물질적 질 을 향상 시킨다. 장비의 고급 진단은 또한 플라즈마 매개변수와 기판 품질을 실시간으로 분석 할 수 있습니다. 컨셉 3 벡터 익스프레스 (Concept 3 Vector Express) 는 내구성이 뛰어난 재료로 구성되어 화학 및 열 침식에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. 따라서 시스템은 다양한 운영 프로세스를 처리할 수 있습니다. 또한 통합 안전 시스템과 내장 기능을 통해 유지 보수 비용을 절감합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express는 생산성 및 신뢰성 향상을 위해 설계된 놀라운 원자로입니다. 고급 공정 가스 제어 장치 (gas control unit), 통합 벡터링 머신 (integrated vectoring machine) 및 정교한 진단을 통해 정확한 기판 증착 및 제어 공정 조건을 사용할 수 있습니다. 내구성이 뛰어난 재료와 통합 안전 시스템은 장기적인 성능과 안정성을 보장합니다. 이것은 운영 환경에 매력적인 선택입니다.