판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9251471

LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel
ID: 9251471
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel은 반응성 및 비 반응성 재료의 광학 및 열 밀도 처리를 모두 지원하는 고급 고성능 기술 시스템입니다. 고속 밀도 처리를 위한 이중 속도, 순차 작동 기능을 자랑합니다. 대규모/소규모 연구/제조 애플리케이션의 요구를 모두 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 시스템에는 2 개의 연결 가능한 반응 챔버 모듈과 함께 시스템 컨트롤러와 프로그램 생성기가 결합되어 있습니다. 첫 번째 챔버 모듈은 2 개의 가열 단계를 사용하여 1 차 처리에 사용됩니다. 두 번째는 측면 흐름, 밀도 프로세스 (예: 원자층 증착) 에 사용됩니다. 이것은 영화, 코팅 및 기타 재료에 대한 대상 밀도를 제공합니다. 컨셉 2 (Concept 2) 에는 다중 응답 데이터 로깅 및 분석, 최고의 반응 프로세스 제어 및 커스터마이징을 위한 사용자 정의 프로그래밍성 기능이 있습니다. 자동 제어 (automated control) 및 피드백 (feedback) 기능을 갖춘 내부/외부 로봇 암을 통해 재료를 빠르고 쉽게 삽입하고 제거할 수 있습니다. 조작 장치 (manipulator) 는 또한 작동 중에 원자로의 적절한 거리 및 높이를 유지하도록 보장합니다. 컨셉 2 (Concept 2) 는 높은 처리량 밀도 처리 및 정밀 엔지니어링이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. 또한 이중 속도 순차 (dual-speed sequential operation) 기능을 제공하여 사용자에게 두 개 이상의 재료를 동시에 빠른 속도로 처리 할 수있는 기능을 제공합니다. 첨단 기술과 강력한 기능을 갖춘 컨셉트 2 (Concept 2) 는 연구 및 제조 요구를 충족하는 안정적이고 에너지 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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