판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9315037

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus는 유전체 필름 적용을 위해 설계된 고급 열 진공 원자로입니다. 진공실, 방사선 원, 챔버 압력 컨트롤러, 히터, 질량 흐름 컨트롤러 및 가스 분배 장비로 구성됩니다. 진공실은 증착 및 증착 후 과정을위한 깨끗한 환경을 제공합니다. 방사선 원 은 증착 과정 에 필요 한 상태 를 조성 하고, 약실 압력 "컨트롤러 '는 약실 내 의 압력 을 조절 한다. "히터 '는 증착 과정 중 에 적정 한 온도 를 유지 하고 질량 의 흐름" 컨트롤러' 는 압력 을 가하여 "가스 '의 효율적 인 사용 을 보장 한다. 가스 분포 시스템은 균일 한 공정을 위해 챔버 전체에 질소와 수소를 분배합니다. 이 장치는 또한 상공 회의소의 제거 프로세스를 모니터링하여 성공적인 증착을 보장합니다. NOVELLUS Altus는 여러 레시피와 프로그램을 통해 주기 시간과 스루핑 최적화를 사용합니다. 유전체 필름 증착을위한 비용 효율적인 솔루션에서 높은 재생성을 제공합니다. 이 기계는 오염과 결함을 최소화하면서 고품질 발광층 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 또한, 이 툴의 프로세스 컨트롤러 (옵션) 는 소프트웨어 기반 프로세스 제어 및 데이터 관리를 제공합니다. LAM RESEARCH Altus는 신뢰할 수 있고, 견고하며, 사용자 친화적 인 자산으로, 여러 응용 프로그램에 고급 열 진공 증착을 제공합니다.