판매용 중고 LAM RESEARCH Inova #293597136

LAM RESEARCH Inova는 정밀 플라즈마 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 고급 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 시스템, 이중 온도 기능 및 에칭 또는 재싱을위한 광범위한 레시피가 특징입니다. 이 장치는 에칭 또는 애싱 웨이퍼에 대한 뛰어난 균일 성과 반복 성을 제공합니다. 또한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 중에 웨이퍼를 모니터링하고 에치 또는 애싱 조건에 대한 실시간 피드백을 허용하는 고급 광학 카메라 머신이 있습니다. Inova etcher/asher 도구는 플라즈마 에칭 및 애싱을위한 저렴한 고성능 자산으로 설계되었습니다. 여기에는 안정적인 에칭 또는 애싱 결과를 위해 플라즈마 환경을 정확하게 조정 할 수있는 자동 가스 밀도 제어 (Automatic Gas Density Control) 모델이 있습니다. PECVD 장비는 정밀하게 제어되고 단단히 통제 된 플라즈마 환경을 제공하여 웨이퍼에 균일 한 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 제공합니다. LAM RESEARCH Inova (LAM RESEARCH Inova) 는 이중의 온도 기능을 통해 사용자가 에칭 또는 애싱 응용 프로그램에 필요한 정확한 온도를 빠르고 쉽게 선택할 수 있습니다. 이중 온도 (Dual-temperature) 옵션을 사용하면 에칭 또는 어싱 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이노바 (Inova) 는 에칭 또는 애싱 중에 웨이퍼를 모니터링하는 고급 광학 카메라 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 조건에 대한 실시간 피드백이 가능하며 에치 (etch) 또는 어싱 (ashing) 프로세스에 대한 자세한 정보를 사용자에게 제공합니다. LAM RESEARCH Inova (LAM RESEARCH Inova) 는 에칭 또는 재싱을위한 다양한 레시피를 제공하여 사용자에게 다양한 에치 또는 애싱 옵션을 제공합니다. 또한 자동 카세트 아키텍처 (Automated Cassette Architecture) 를 통해 처리량을 높이고, 다운타임을 줄이고, 에칭 또는 애싱 데이터의 재생을 향상시킵니다. 따라서 사용자가 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 결과를 최적화하기 위해 조건을 세밀하게 조정할 수 있습니다. Inova는 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 과 같은 고온 및 고진공 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. 다양한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 옵션을 제공하면서 최고 수준의 정확도, 반복 가능성, 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능과 레시피를 갖춘 LAM RESEARCH Inova는 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 선택입니다.