판매용 중고 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9379269

LAM RESEARCH Dual Sola Excel은 에치, 증착 및 표면 처리와 같은 다양한 처리 응용 분야에 사용되는 고급 플라즈마 원자로입니다. 이중 Sola Excel 원자로는 매우 효율적이고 비용 효율적입니다. 기판의 빠르고 안정적인 처리를 위해 강력한 공정 챔버를 제공합니다. 원자로 는 사용 하기 쉽고, 공정 개발 (process development) 과 생산 처리 (production processing) 를 위한 강력 한 도구 가 되는 여러 가지 특징 이 들어 있다. LAM RESEARCH Dual Sola Excel 은 고급 자동화 옵션을 제공하여 기존 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 정확하고 반복 가능한 프로세스를 위해 정확한 가스 흐름 제어를 가능하게하는 원자 발전기 (atomix generator) 가 특징입니다. 또한 이중 Unterberg Power 공급 장치로 다양한 기능을 확장하여 최대 2 개의 공정 챔버 (process chamber) 를 유연하게 공급할 수 있습니다. 원자로 는 구성 능력 이 뛰어나며, 광범위 한 "응용프로그램 '에 적응 할 수 있다. 그것 은 "마그네트론 '과" 코일' 원 을 갖추고 "플라즈마 '의 균일 한 분포 를 보장 하고 있으며, 진공관 은 빠른" 펌프' 다운 '과 우수 한 기판 청소 를 위해 설계 되었다. 또한 여러 가스 공급 회선을 결합하여 프로세스 간 전환 (switching) 을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 듀얼 솔라 엑셀 (Dual Sola Excel) 에는 통합 비상 정지 및 자동 압력 완화 밸브와 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 추가 보안을 위해 ETL 및 CE 인증을 받았습니다. 원자로는 추가 보호를 위해 인근 안전 장비와 효과적으로 연동 될 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Dual Sola Excel은 고급적이고 비용 효율적이며 안전한 플라즈마 원자로입니다. 많은 기능을 통해 개발 (development) 에서 생산 (production) 에 이르기까지 다양한 처리 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 제품은 효율적이고 균일한 플라즈마 (Plasma) 배포를 제공하며, 안전 기능으로 인해 어떠한 환경에서도 작동할 수 있는 안정적이고 안전한 도구입니다.