판매용 중고 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183

LAM RESEARCH Dual Sola Excel은 에칭 및 증착 공정을 위해 설계된 고효율적이고 최적화 된 열 반응 온벽 원자로입니다. 에칭 전용 챔버 1 개와 증착 전용 챔버 1 개가있는 2 개의 챔버 원자로입니다. 챔버는 얇은 필름 소스를 수용하는 3 중 벽 세라믹 챔버로 분리됩니다. 즉, 소스와 프로세스 챔버 간의 직접적인 접촉을 제거하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. 반응 챔버는 최대 효율성을 위해 고도로 반사 된 스테인리스 스틸 등각 방패로 덮여 있습니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 또한 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 에 대한 양극과 음극을 가지며 도펀트 및 에친트 가스를 도입하기위한 제공을 갖는다. 공정 혈관은 주파수 제어 (frequency control) 를 가진 자기 교반기에 의해 동요되어 공정의 균일성을 보장한다. 공정 선박에는 공정 혈관 (process vessel) 이 공정 전후에 대피 할 수있는 가스 대피 시스템이 내장되어 있습니다. 듀얼 솔라 엑셀 (Dual Sola Excel) 은 에치 백이 적은 높은 생산 수준을 위해 높은 처리량 에칭 및 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 그것 은 반도체 제조 공정 에서 "이산화규소 '및 기타 재료 의 박막 을 식각 하고 퇴적 시키는 데 적합 하다. 이중 챔버 (dual-chamber) 는 적절한 에칭 또는 증착 프로세스가 유지되도록 효율적인 프로세스 관리를 지원합니다. 가열 시스템은 열 반응 챔버 전체에서 균일 한 온도를 보장합니다. 열로 는 정밀 온도 조절 장치 (precision temperature control system) 에 의해 감싸져 있어서 반응 "챔버 '에서 온도 가 일치 한다. 또한 원격으로 모니터링하여 뛰어난 제어 및 편리성을 제공합니다. LAM RESEARCH Dual Sola Excel은 또한 통합 RF 발전기를 사용하여 발전기를 사용하여 다양한 에칭 및 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 냉장고는 질소 가압이며 섭씨 -60 ~ 120도의 온도 범위를 허용합니다. 또한 습도 및 온도 조절이 정확한 금속 증발에도 사용할 수 있습니다. 전반적으로, 듀얼 솔라 엑셀 (Dual Sola Excel) 은 반도체 산업의 식각 및 증착 과정에 효율적이고 정확한 열 역할 원자로입니다. 즉, 사용자는 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어하여 일관성 있고 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 금속 증발에도 적합하며, 광범위한 재료로 작동 할 수 있습니다.