판매용 중고 LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339

LAM RESEARCH C3 Ice mod는 박막 및 금속 물질을 정확하게 에칭 할 수있는 고효율, 저비용 플라즈마 에칭 원자로입니다. 이 제품은 반도체 및 기타 전자제품 제작에 사용되도록 설계된 컴팩트하고 비용 효율적인 장비입니다 (영문). C3 Ice mod의 전원 공급 장치는 최대 650 ° C 고온 플라즈마를 생성 할 수 있으며, 고온 어닐링, 정밀 금속 에칭 및 양극 필름 증착에 이상적입니다. 시스템은 MIC (Modular Interface Controller), 메인프레임, MPS (Modular Power Supply) 및 ISC (Ion Source Control Unit) 의 네 가지 구성 요소로 구성됩니다. MIC (Central Processing Unit) 는 장치의 전반적인 제어 및 자동화를 담당하는 중앙 처리 장치입니다. 공정 온도, 압력, 가스 흐름, 압력, 전원 공급 장치 조정 등 모든 머신 매개변수를 제어하고 모니터링할 책임이 있습니다. 메인프레임에는 챔버 부품, 진공 펌프, 냉각 서브 시스템, 안전 시스템 및 이온 빔 소스 등이 포함됩니다. MPS 는 "에칭 '과정 을 위한 저전압, 고온" 플라즈마' 의 생성 을 담당한다. ISC 장치는 고류 플라즈마 빔 생성 및 기판 냉각을 담당합니다. LAM RESEARCH C3 Ice mod에는 2 개의 진공 챔버가 장착되어 있으며 최대 6 개의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 도구는 산소, 아르곤, 질소, 염소와 같은 다양한 에치 가스 화학 물질과 호환됩니다. 1 미크론 (micron) 의 정밀도로 에치 깊이와 깊이 (features) 를 제어 할 수 있습니다. C3 Ice mod에는 에치 가스 흐름을 정확하게 제어하기위한 자동 가스 전달 자산이 있습니다. 또한 압력, 온도, 이온 빔 가속도와 같은 플라즈마 매개변수의 정확한 제어를 위해 조정 가능한 RF 생성기가 있습니다. LAM RESEARCH C3 Ice mod에는 광학 방출 분광법 및 질량 분석법과 같은 다양한 진단 기기가 장착되어 있습니다. 이를 통해 에칭 속도, 에칭 깊이, 기판 두께, 필름 접착, 전기 특성 및 기타 프로세스 매개변수의 정확한 결정을 할 수 있습니다. C3 아이스 모드 (Ice mod) 는 효율성이 높고 비용 효율적이며 하이엔드 반도체 장치 생산에서 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다.