판매용 중고 LAM RESEARCH Altus Max #293818165

LAM 리서치 알투스 맥스 (LAM RESEARCH Altus Max) 는 광범위한 집적 회로 및 장치의 제작에 사용되는 반도체 웨이퍼를 처리하기위한 고도의 원자로입니다. Altus Max는 고급 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 기술 덕분에 뛰어난 성능과 능력을 제공합니다. 단일 소스 접근 방식을 사용합니다. 즉, 단일 전구체 피드 시스템은 소스 가스 (source gas) 와 캐리어 가스 (carrier gas) 를 모두 제공하여보다 균일하고 안정적인 프로세스를 만듭니다. LAM RESEARCH Altus Max에는 독점 웨이퍼 로딩 트레이가 제공되어 현장 교환 및 더 빠른 로딩 시간이 가능합니다. 또한 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 구성을 수용하는 범용 서셉터 (universal susceptor) 가 특징입니다. 감지기 (susceptor) 는 전체 웨이퍼에서 더 큰 온도 균일성을 가능하게하며, 프로세스 수율과 처리량을 향상시킵니다. 알투스 맥스 (Altus Max) 는 위험을 줄이고 높은 수율을 유지하기 위해 수동 로딩으로 인한 잠재적 오염을 제거하는 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 를 갖추고 있습니다. 또한, 디커플링 된 인슐레이션 직렬 (DIS) 프로세스 제어 시스템은 프로세스 조건을 자동으로 최적화하여 실행 가능한 최대 3 시그마 (sigma) 의 반복 가능성을 통해 반복 가능한 결과를 제공합니다. LAM RESEARCH Altus Max는 뛰어난 사용 편이성을 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 프로세스 매개변수를 명확히 표시하여 수동 조정의 필요성을 줄입니다. 또한 구성 데이터를 신속하게 전송할 수 있는 레시피 라이브러리 (레시피 라이브러리) 가 내장되어 있습니다. 알투스 맥스 (Altus Max) 는 장기적인 신뢰성을 위해 제작되었으며, 안전한 로딩 및 언로드를 위해 특허를받은 자동 웨이퍼 전송 암을 제공합니다. 또한 장비 성능에 대한 정확한 유지 관리 및 추적 기능을 제공하는 자가 진단 시스템 (Self Diagnostic System) 이 포함되어 있어 유지 관리 작업의 우선 순위를 지정하여 가동 시간을 극대화할 수 있습니다. LAM RESEARCH Altus Max는 탁월한 프로세스 및 성능, 최적의 프로세스 제어, 탁월한 사용 편의성 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 원자로입니다. 이 제품은 다양한 고급 반도체 제작 프로세스 (Advanced Semiconductor Fabrication Process) 에 사용되므로 고품질의 결과와 일관성 있고 반복 가능한 성능을 제공합니다.