판매용 중고 LAM RESEARCH Altus Max #293745140

제조사
LAM RESEARCH
모델
Altus Max
ID: 293745140
웨이퍼 크기: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Altus Max Reactor (LAM RESEARCH Altus Max Reactor) 는 장치 제조업체가 고급 장치 및 기판 처리 응용 프로그램에서 고급 재료의 사용을 효과적으로 최적화 할 수있는 업계 최고의 열 처리 도구입니다. Altus Max Reactor는 최대 처리 온도가 1750 ° C인 고급 고온 장비입니다. 이 시스템은 발열, 냉각 및/또는 난방/냉각 주기를 빠르게 수행할 수 있으며, 특정 처리 요구 사항을 충족하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 통합 닫힌 루프 제어 및 모니터링 장치는 정확한 온도 조절 및 프로세스 안정성을 제공합니다. 원자로 성능을 최적화하는 데 도움이 되는 고급 기능 (예: 실시간 진단 및 탐사 방지) 입니다. LAM RESEARCH Altus Max Reactor는 또한 개방형 격리 설계를 통해 적재, 언로드 및 처리 중 가스/재료 교환 및 인원에 대한 효율적인 액세스를 허용합니다. 이 기계는 또한 배기 가스 (external exhaust gase) 를 외부 배기 (external exhaust) 도구로 직접 라우팅하여 유지 보수 및 청소 요구 사항을 줄입니다. 원자로의 견고한 설계는 까다로운 운영 환경과 장기적인 신뢰성 (안정성) 을 견딜 수 있도록 합니다. 자산에는 여러 유형의 재료를 동시에 처리할 수있는 다중 영역 (multiple-zone) 기능이 있습니다. 또한, 스마트한 설계 및 모듈식 구성을 통해 필요할 때 쉽게 설치 및 현장 복구를 수행할 수 있습니다. 알투스 맥스 리액터 (Altus Max Reactor) 는 포괄적인 안전 기능을 갖추고 있으며, 가장 까다로운 열 프로세스에서도 안전하고 안정적인 방식으로 작동 할 수 있습니다. 이러한 기능에는 통합 전력 모니터링, 가스 결함 모니터, 소프트웨어 제어 공정 보호 및 경보, 고급 열전대, 산소 센서, 이중화 온도 컨트롤러 등의 전체 안전 하위 시스템이 포함됩니다. 결론적으로, LAM RESEARCH Altus Max Reactor는 신뢰할 수 있고, 안전하며, 고급 열 처리 솔루션으로, 장치 제조업체가 까다로운 애플리케이션에 고급 자료를 효과적으로 활용할 수 있습니다. 이 고온 모델을 통해, 제조업체는 뛰어난 공정 효율성을 갖춘 고품질, 신뢰성 있는 제품을 제공할 수 있습니다.
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