판매용 중고 LAM RESEARCH Altus Max #293610297

LAM RESEARCH Altus Max는 고급 논리 응용 프로그램을 위해 고급 fab 변환을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 고급 프로세스 제어 및 자동화 기능을 통해 Altus Max는 고 유전체 상수 (high-k) 및 저 유전체 상수 (low-k) 재료를 모두 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Altus Max에는 FastEx Advanced Edge ™ 기능이 포함되어 있습니다. FastEx Advanced Edge ™ 기능은 고온과 더 효율적인 증착률과 같은 고급 프로세스 제어 기능으로 뛰어난 품질과 반복 성을 제공합니다. 이 기능은 초고성능 소재, 확장성 및 처리량 증대, 수율 및 디바이스 신뢰성 극대화에 도움이 됩니다. 알투스 맥스 (Altus Max) 는 또한 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드를 갖추고 있으며, 인체 공학적 웨이퍼 재밍 스테이션과 지속적인 작동을위한 에어록 시스템을 갖추고 있습니다. 경량의 고정밀 로봇 암은 효율적인 자동 재료 전송을 제공합니다. LAM RESEARCH Altus Max는 PWM ™ (Process Window Management) 소프트웨어도 유연성을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 사용자 정의하고 모니터링할 수 있으며, 실시간 모니터링 (monitor) 및 트렌드 로트 (trend lot) 성능을 얻을 수 있습니다. 증착 균일성 및 오염 보호를 제어하기위한 다양한 옵션을 제공합니다. Altus Max는 고가용성 ECP 프로세스와 Massively Parallel CVD 기술을 모두 갖춘 웨이퍼 처리량과 활용도를 극대화합니다. LAM 리서치 알투스 맥스 (LAM RESEARCH Altus Max) 는 독보적인 수준의 프로세스 유연성을 제공하여 최고의 FAB 변환 기능을 제공합니다. 또한, Altus Max는 뛰어난 안전 기능을 제공하며, 모든 글로벌 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 운영자 인터페이스는 프로세스 매개변수를 쉽게 탐색하고, 쉽게 탐색할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Altus Max는 업계 최고의 원자로, 전례없는 수준의 처리량, 성능 및 신뢰성을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 및 자동화된 기능을 갖춘 Altus Max는 고급 자동화 및 제어 기능을 제공하여 최고 수준의 성능, 확장, 처리량을 제공합니다.