판매용 중고 LAM RESEARCH 839-019090-632 #293662521

LAM RESEARCH 839-019090-632는 원자 침착을 위해 반도체 산업에 사용되는 플라즈마 에칭 원자로 유형입니다. 그것은 2 개의 전극이있는 원통형 챔버, 하부 전극 및 상부 전극으로 구성되며, 작은 간극으로 분리됩니다. 약실은 일반적으로 아르곤 (Argon), 산소 (Oxygen) 및 질소 (Nitrogen) 를 포함한 가스 혼합물로 채워져 저압으로 대피합니다. 두 전극 사이에 RF 전력이 적용되어 둘 사이에 플라즈마가 시작됩니다. 이 창조 된 "플라즈마 '는 방벽 을 폭격 하고, 원자 의" 에칭' 과 증착 을 일으키며, 궁극적 으로 방 내부 의 물질 의 층 과 구조 를 변화 시킬 것 이다. 이 시스템은 300mm ~ 150mm 범위의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 원자로에는 2 개의 적재물, 1 개의 칠러 및 150mm ~ 300mm 기능이 제공됩니다. 고주파 RF 발전기와 전원 공급 장치, 고급 진단, 고급 전원 제어, 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 고급 진단은 플라즈마 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 도구를 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 성능과 안정성을 염두에 두고 설계되었으며, 사용자 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며 가장 높은 안전 표준 을 염두 에 두고 설계 되었다. 전극은 텅스텐 알루미네이트로 구성되고 혈장 폭격에 탄력적이다. 원자로 (reactor) 는 또한 고급 공정 제어 (advanced process control) 를 특징으로하며, 이는 자가 조정으로 공정 매개변수의 타이트한 창을 최적화하고 반복적으로 전달할 수 있음을 의미합니다. 839-019090-632는 다재다능하고 강력한 원자로, R&D 및 생산 에칭에 이상적입니다. 고급 프로세스 제어는 반복 가능한 프로세스, 플라즈마 매개변수의 정확한 제어, 궁극적으로 높은 수율을 보장합니다. 또한 최첨단 안전 (State-of-Art) 및 품질 표준과 호환되며 다양한 어플리케이션에서 안정성과 성능을 보장합니다.