판매용 중고 INTEVAC Matrix #9288407

INTEVAC 매트릭스 (INTEVAC Matrix) 는 반도체 웨이퍼 및 고급 재료 처리를 위해 특별히 설계된 매우 효율적이고 비용 효율적인 원자로입니다. 그것은 큰 기판 표면적과 단단한 공정 재생성을 위해 향상된 온도 균일 성을 특징으로합니다. 비활성 진공 환경 (inert vacuum environment) 은 고온 및 속도에서의 작동을 허용하며, 결과적으로 원자로는 수동 용매 기반 처리 시스템보다 훨씬 빠른 주기 시간으로 작동 할 수 있습니다. Matrix는 독점적 인 올 쿼츠 듀얼 진공 챔버 장비입니다. 챔버 시스템은 초고 진공 (UHV) 1 차 챔버와 반응성 2 차 챔버를 결합합니다. 이 2 챔버 기술을 통해 웨이퍼 처리를 정교하게 제어 할 수 있습니다. 1 차 챔버 (primary chamber) 는 물리적 증기 증착 및 에칭에 사용되며, 2 차 챔버에는 high-k 및 low-k 유전체와 같은 재료의 열 처리에 사용될 수있는 RF 유도 난방 장치가 장착되어 있습니다. 또한 이 이중 챔버 아키텍처는 전송 머신 (Transfer Machine) 의 필요성을 없애 생산성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. INTEVAC 매트릭스는 안전을 염두에 두고 설계되었습니다. 모든 작동 조건 및 경보 레코드는 On-board Telemetry Tool을 사용하여 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 원자로에는 인터 록 (interlock) 과 자가 진단 시스템 (self-diagnostic system) 이 장착되어 있어 유해 물질에 대한 노출 위험을 줄여줍니다. 하드웨어 측면에서 Matrix에는 현장 내 엔드포인트 모니터링 자산, 자동 웨이퍼 모니터링, 빠른 냉각 모델, 향상된 RF 유도 난방 장비, 향상된 압력 제어 시스템, 완전 통합 자동 로딩 장치 등의 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 프로세스 주기를 간소화하고 전체 프로세스 시간을 단축하는 안정적이고 사용자 친화적인 시스템 (User-Friendly Machine) 을 제공합니다. INTEVAC 매트릭스 (INTEVAC Matrix) 는 매우 다양하며 다양한 고급 프로세스 레시피와 호환됩니다. 열 산화, 질화물 증착, 스퍼터 에칭, 포토 리토 그래피 등 다양한 공정 화학이 가능합니다. 전반적으로, 매트릭스 (Matrix) 는 반도체 및 기타 고급 재료 처리에 이상적인 고급적이고 효율적인 원자로입니다. 고효율 설계는 시간이 지남에 따라 프로세스 재생성에 이상적입니다. INTEVAC 매트릭스 (INTEVAC Matrix) 는 안전하고 안정적으로 작동하며, 사용자에게 포괄적인 기능과 기능을 제공합니다. 이것은 뛰어난 프로세스 재현성과 반복성을 요구하는 실험실 및 생산 시설에 완벽한 선택입니다.