판매용 중고 INTEVAC LithoPrime #9181440

인테박 리토 프라임 (INTEVAC LithoPrime) 은 집적회로 제조에 소요되는 시간을 현저히 줄여 반도체 제작효율을 획기적으로 높이도록 설계된 첨단 원자로다. 이 기술은 복잡한 디바이스를 생산하기 위한 여러 프로세스 단계 (process steps) 의 필요성을 없애기 위한 목적으로 개발되었으며, 따라서 생산 프로세스의 복잡성을 줄이고, 요구 사항에 대한 빠르고 효율적인 솔루션을 제공하는 집적 회로 (integrated circuit) 제조업체를 제공합니다. 리토 프라임 (LithoPrime) 원자로는 통합 확장 챔버를 갖춘 원통형 설계를 사용하여 프로세스 환경을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 냉각된 가스 소스 및 속도 제어 시스템 (velocity control system) 을 사용하여 수행됩니다. 원자로에는 광학 검사 시스템 (optical inspection system) 과 고급 온도 및 습도 센서 (advanced temperature and hidity sensor) 가 장착되어 있어 생산 과정 전반에 걸쳐 처리 매개변수가 정확하게 제어되도록 합니다. 처리량을 최적화하기 위해, 반응 챔버의 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. INTEVAC LithoPrime은 화학 증기 증착 (CVD), 스퍼터링 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 과 같은 다양한 증착 기술과의 호환성을 위해 설계되었습니다. 이 다목적 처리 플랫폼은 실리콘 기반 재료, 비휘발성 메모리, 두꺼운 필름 반도체 및 그래 핀에 이르기까지 다양한 재료에 적합합니다. 리토 프라임 (LithoPrime) 은 타의 추종을 불허하는 처리 능력 외에도 고효율 가스 분사 유속 및 정확한 온도 조절을 제공합니다. 원자로의 빠른 냉각 시스템 (fast cooling system) 으로 인해 처리 시간이 크게 단축되었으며, 가열 된 챔버 (chamber) 는 전구체 가스를 효율적으로 사용할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 더 큰 기판 처리 응용을위한 확대 된 기판 크기와 복잡한 구조를 가진 장치를 효율적으로 형성 할 수있는 계층 별 구성 (layer-by-layer fabrication) 프로세스를 특징으로합니다. INTEVAC LithoPrime의 잠재력은 엄청나고, 그 사용은 이미 반도체 생산의 풍경을 변화시키고 있습니다. 이 고급형 원자로는 제조업체의 생산량 향상, 처리량 향상, 프로세스 제어 향상 등을 제공합니다. 생산 능력을 향상시키려는 제조업체에 적합한 솔루션입니다 (영문).