판매용 중고 GSI Ultradep 1000 #293618589
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ID: 293618589
웨이퍼 크기: 8"
PECVD System, 8"
Films: SiO2, Si3N4 and Amorphous Si
SiO2 rates: Lo at 1000 Å/min, Hi at 3000 Å/min
Si3N4 rate: 350 Å/min
Gases: SiH4 5%/He (Balanced), N2, O2, N2O, He
Gas panel.
GSI Ultradep 1000 (UD1000) 은 유해 및 비유해 폐기물 스트림 처리를 위해 설계된 고효율 초소형 원자로입니다. 원자로는 첨단 기술 (advanced technologies) 의 조합을 사용하여 최대 파괴 효율을 달성하여 운영 비용과 배출 수준을 최소화합니다. UD1000의 반지름은 1.5 미터, 무게는 거의 8 톤입니다. 연속 흐름 장비에서 액체/점성 폐기물/슬러지 스트림을 줄이기 위해 설계되었습니다. 원자로 에는, 오염 물질 을 안전 한 방법 으로 파괴 하는 데 도움 이 되는 일련의 공정 "챔버 '가 장착 되어 있다. 방에는 폐기물 흐름의 흐름을 조절하고 파괴 효율을 극대화하기 위해 밸브 (Valv) 가 장착되어 있습니다. UD1000은 통합 파울링 리미디 시스템 (IFRS) 을 사용하여 최적의 성능을 보장합니다. IFRS는 원자로의 워터 재킷 (water jacket) 에서 작동하며, 정지 된 고체 및 기타 파울링 재료를 지속적으로 청소하고 배출합니다. 또한, 폐기물 "스트림 '은 오염 물질 의 파괴 를 증진 시키는 독특 한 특허 촉매 로 처리 된다. 또한 UD1000은 높은 파괴 효율을 제공하면서 배출량을 감소시키는 2 개의 별도의 오프 가스 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 1 차 처리 장치는 먼지, 연기, 탄화수소 및 기타 오염 물질을 제거하는 정전기 침전제이며, 2 차 처리 기계는 고효율 안개 제거제 (mist eliminator) 를 갖춘 벤츄리 스크러버 (venturi scrubber) 를 사용하여 방출 수준을 더욱 줄입니다. 또한 UD1000에는 직원 안전을위한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 40 밀리미터 두께의 콘크리트 벽, 이중 격리 도구 (double containment tool) 및 비상 사태가 발생할 경우 안전한 운영을 가능하게하기위한 퍼지 에셋 (purge asset) 이 포함됩니다. 원자로 (Reactor) 는 원격 작동을 위해 구성될 수도 있으며, 인력을 배치하지 않고도 프로세스 성능을 안전하게 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로, Ultradep 1000은 초소형, 고효율 폐기물 파괴 원자로이며, 최적의 작동 성능 및 위험 및 비유해 스트림의 안전한 처리를 위해 최신 기술을 갖추고 있습니다. 원자로는 통합 파울링 리미디 모델, 가스 외 처리 시스템, 안전 운용에 적합한 안전 기능을 갖추고 있습니다.
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