판매용 중고 CSD EPITAXY EpiPro 5000 #293771200

CSD EPITAXY EpiPro 5000은 고급 광전자 장치 제조를 위해 특별히 설계된 최첨단 에피 택시 원자로입니다. 독보적인 모듈식 설계를 통해 설치가 쉽고 유연한 구성을 통해 다양한 기술 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). 이 원자로는 사용자 친화적인 작동을 가능하게 하는 한편, 성능을 극대화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 에피 택시 (epitaxy) 원자로는 여러 가스가 흐르는 특수 설계 된 폐쇄 루프 (closed loop) 솔루션을 사용하여 최적의 환경에서 공정 챔버를 보유 할 수 있습니다. 정밀 온도 선형화는 3 구역 설계로 이루어지며, 도펀트 플럭싱 성능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로의 자동 도핑 플럭스 제어 및 최대 온도는 1250 ° C입니다. 공정 챔버에는 분리 가능 라이너 (liner) 가 있어 유지 보수 및 청소가 용이합니다. 에피 프로 5000 (EpiPro 5000) 은 자동화 된 로드 리프팅 장비를 갖추고 있으며, 프로세스 챔버로 안전하고 빠르게 웨이퍼를 전송합니다. 수치 조절 시스템 은 사용 하기 쉽고, "가스 '의 흐름, 온도, 압력 에 대한 정확 한 설정 을 허용 한다. 또한, 고급 펄스 쿼츠 장치 (advanced pulse quartz unit) 를 사용하면 프로세스 안정성을 높이기 위해 프로세스 매개변수를 언제든지 조정할 수 있습니다. CSD EPITAXY EpiPro 5000에는 FOD (외국 물체 파편) 오염으로부터 보호하기위한 맞춤형 차폐 가스가 있습니다. 일정한 압력 속도 기계는 밀폐된 챔버를 유지하고, 누출률을 최소화하고, 처리 환경을 최적화합니다. 챔버의 내부 벽은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 내구성과 뛰어난 성능을 제공합니다. EpiPro 5000은 또한 포괄적인 안전 도구를 제공하여 항상 안전한 운영을 보장합니다. 자산에는 온도 및 압력 센서, 여러 경고 및 정지 표시등이 포함됩니다. 실시간 모니터링은 원자로 작동 중 피크 상태를 유지합니다. 직관적인 소프트웨어 및 제어 모델을 통해 사용자는 CSD EPITAXY EpiPro 5000을 원격으로 모니터링하고 운영 할 수 있습니다. 결론적으로, EpiPro 5000은 다용도 원자로이며, 안정적이고 사용자 친화적 인 기능으로, 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다. 고급 기능 및 사용자 정의 가능한 작동 매개변수는이 에피 택시 (epitaxy) 원자로를 고급 광 전자 장치 제작에 적합한 선택으로 만듭니다.