판매용 중고 CANON / QUESTER APT 4800 #9251318

CANON/QUESTER APT 4800은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 생산에 사용되는 고급 생산 도구입니다. 이 원자로에는 프리즈 프레임 레이저 빔 스퍼터링 증착/에칭 공정과 펄스 레이저 열 어닐링 공정이 모두 장착되어 있습니다. 탁월한 정확성, 정확성, 처리량 및 확장성을 제공합니다. CANON APT 4800의 레이저 빔 스퍼터링 증착 공정은 집중된 레이저 빔을 사용하며 표면에 고도로 균일 한 필름 및 유전체, 금속-금속 및 금속-산화물 재료 층을 제조하는 데 이상적입니다. 0.5 ~ 100 미크론의 두께를 가진 필름을 배치 할 수 있습니다. 레이저 빔은 다중 레이어 필름을 생성 할 때 가스와 이온을 혼합합니다. 이것은 전통적인 스퍼터링 방법과 비교하여 뛰어난 영화 품질과 균질성을 허용합니다. QUESTER APT 4800의 펄스 레이저 열 어닐링 프로세스 (pulsed laser thermal annealing process) 는 다양한 챔버 압력 및 온도를 가지고 있으며, 기존의 어닐링 시스템에서 이전에는 달성 할 수 없었던 균일 성과 반복성 수준을 보장합니다. 이 과정은 또한 결정질 화합물 생산에서 탁월한 성능을 제공하며, 뛰어난 재현성을 지닌 고도로 전도성, 고품질 필름 (film) 을 만드는 데 사용될 수 있습니다. APT 4800은 다양한 생산 도구입니다. 그것 은 얇고 두꺼운 층 을, "필름 '의 질 이 우월 하면서도, 고도 의 균일성 과 반복성 을 가진 기판 에 신속 히 배치 할 수 있다. 또한 프로세스 간 매개 변수를 조정하면 비용 효율적인 생산이 이루어집니다. 또한, 복잡한 광학 및 전기 특성을 가진 고급 박막 (thin-film) 구조를 생성하는 능력은 고급 디스플레이 및 다이오드 제작에 이상적인 도구입니다.