판매용 중고 CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529

CANON/ANELVA I-1201 CX는 스퍼터 에칭, 반도체 처리 및 기타 표면 처리 작업과 같은 다양한 산업 응용을 위해 설계된 다기능 원자로입니다. "스테인레스 (stainless) 원통형 차체 '를 갖춘 중대형 원자로다. 원추형 바닥과 경사진 지붕이 함께 제공돼 난기류에 대한 안정성과 보호성이 높다. 또한 전체 표면에서 균일 한 에칭을 보장하는 플라즈마 필드의 뛰어난 균일 성을 제공합니다. CANON I-1201 CX는 일반적으로 매우 높은 진공 환경에서 사용되지만, 낮은 진공 환경에서도 작동 할 수 있습니다. 공정 요구 사항에 따라 전원을 조정할 수 있는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능이 있는 경로가 있는 5.5kW RF 전원 공급 장치가 있습니다. 또한 증착율을 낮추는 데 도움이되는 5.5kW DC 바이어스 공급이 제공됩니다. ANELVA I-1201 CX의 다른 기능으로는 쿼츠 창, 플라즈마 뷰 포트, 셔터 제어 공정 가스 입구 (gas inlet) 가 있으며, 반복 및 일관된 표면 처리 성능을위한 뛰어난 프로세스 제어 및 안정성을 제공합니다. 또한 "플라즈마 '로부터 상부 전극 을 보호 하고, 하부 전극 으로부터의 관대 한 간격 을 허용 하여 공정 조절 을 개선 하는 양극 방패 가 있다. I-1201 CX는 고급 전력/가스 제어 시스템 (Power/Gas Control System) 을 갖추고 있어 운영자가 가스/RF 전력 비율을 정확하게 제어하여 프로세스 결과를 최적화 할 수 있습니다. 여기에는 장애 감지, 프로세스 모니터링, 안전 과부하 (safety overload) 및 기타 관련 기능과 같은 진화 기능이 포함된 고급 진단 기능이 포함됩니다. 또한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 을 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 최적화하여 효율성을 높이고 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다. CANON/ANELVA I-1201 CX는 가장 까다로운 산업 응용 프로그램에서도 일관된 표면 처리 작업을 보장하도록 설계된 다재다능하고, 견고하며, 신뢰할 수있는 원자로입니다. 내구성과 유연성을 통해 중대형 (중대형) 산업 처리 작업에 이상적인 선택이 됩니다. 첨단 기술과 안전 (Safety) 기능을 통해 다양한 표면 처리를 위한 안정적이고 경제적인 솔루션이 될 수 있습니다.