판매용 중고 CANON / ANELVA FC 7100 #9400031

CANON/ANELVA FC 7100은 반도체 제작을 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 기존 원자로와 비교할 때 훨씬 저렴한 비용과 작은 설치 공간에 독특한 원통형 흐름 (flow-flow) 디자인을 사용합니다. 이 원자로는 가열 된 다이아몬드 척 (diamond chuck) 을 사용하여 웨이퍼를 확보하고, 가공을 위해 안정적이고 일관된 평면 표면을 제공합니다. CANON FC 7100은 특히 200mm (8 인치) 및 300mm (12 인치) 웨이퍼를 처리하는 데 적합하며, 안정적이고 정밀한 패턴화를 위해 특수 평면 파 토크 모터 드라이브 메커니즘을 갖추고 있습니다. 통합 스캐닝 정렬기를 사용하여 정렬 및 패턴 처리 중 정확성을 확인합니다. 이러한 프로세스는 최대 900-의 고온에서 발생할 수 있습니다. 또한, 이 원자로는 마이크로 세공 중 웨이퍼 처리를 검사하기 위해 큰 쿼츠 뷰 포트를 갖추고 있습니다. 보기 창에는 반사 방지 (Anti-Reflective) 코트가 있으며, 분리된 그라운드 라인을 통해 연결되어 있으며, 웨이퍼를 이동할 때 전기 소음에 대한 포괄적 인 보호 기능을 제공합니다. 아넬바 FC7100 (ANELVA FC7100) 원자로는 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 설계되었으며, 운영자는 최대 16 개의 조정 가능한 매개변수로 처리 조건을 쉽게 제어하거나 모니터링 할 수 있습니다. 또한 에칭, 증착 및 청소 과정에서 정확한 온도 조절을 보장하기 위해 내장 된 핫 플레이트 히터 (hot plate heater) 가 포함되어 있습니다. microfabrication 프로세스의 요구 사항에 따라 CANON FC7100 에 여러 웨이퍼 홀더를 설치할 수 있습니다. 예를 들어, 실리콘 웨이퍼 응용 프로그램 (silicon wafer application) 의 경우, 홀더에는 실리콘 카바이드 플레이트를 베이스로 장착하여 수율을 향상시키고 더 나은 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다. 또한 CANON/ANELVA FC7100은 로더 및 자동 언로더를 포함하여 웨이퍼 전송을 위해 여러 시스템을 지원합니다. 호환되는 시스템은 주 콘솔 (Main Console) 에 연결하여 원자로 안팎의 웨이퍼 (Wafer) 를 손쉽게 모니터링 및 재장전할 수 있습니다. 결론적으로 FC 7100 은 반도체 제작을 위한 효율적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 통합형 조정기, 핫플레이트 히터 (Hot Plate Heater), 향상된 시청 창 (Enhanced Viewing Window) 을 비롯한 견고하고 사용자에게 친숙한 디자인과 고급 기능을 통해 소규모/대규모 생산 요구 사항을 모두 충족할 수 있습니다.