판매용 중고 CANON / ANELVA FC-3100 #9292992

CANON/ANELVA FC-3100은 고 처리량 광사 에칭 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 수직 전기 화학 식각 원자로입니다. 이 장비는 사용자에게 높은 엔드 포인트 정확도와 중요한 균일성 격차 적용 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 MEM 및 집적 회로 제조 (Integrated Circuit Manufacturing) 의 고정밀 요구를 충족시키는 모든 기능이 포함되어 있습니다. CANON FC-3100에는 백금 화 된 티타늄 양극과 스테인리스 스틸 음극이 백금 화 된 티타늄 유통 업체 플레이트에 배치 된 전기 화학 에칭 유닛이 있습니다. 양극과 음극은 DC 전원에 연결되어 전류 (electric current) 를 전달할 수 있습니다. 현재 밀도, 노출 및 전해질 조성을 제어하면 사용자가 두꺼운 포토 esist 레이어로 정확하게 에치할 수 있습니다. ANELVA FC-3100에는 효율적인 에칭을 위해 높은 처리량 쿼츠 원자로가 포함되어 있습니다. 이 원자로는 한 번에 최대 4 개의 150mm 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 이는 높은 수율 생산을 가능하게합니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 우수한 온도 조절로 프로세스 조건을 유지하도록 설계되어 모든 웨이퍼를 균일하게 에칭합니다. 이 시스템에는 통합 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 있습니다. 여기에는 비활성 가스 주입 도구 (inert gas injection tool) 와 컴퓨터 제어 데이터 로깅 (computer-controlled data logging) 이 포함되며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 최적화하고 매우 중요한 간격 범위를 유지할 수 있습니다. 전반적으로, FC-3100 은 사용자가 높은 처리량, 정밀 에칭 프로세스를 달성할 수 있도록 다양한 기능을 갖춘 고급 수직 전기 화학 에칭 원자로입니다. 이 제품은 효율적인 쿼츠 (quartz) 원자로, 비활성 가스 사출 제어, 컴퓨터 제어 데이터 로깅, 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있어 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 높은 엔드 포인트 정확도와 중요한 균일성 격차 적용 범위를 달성할 수 있습니다.