판매용 중고 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057

CANON/ANELVA COSMOS I-1201은 반도체 산업의 에칭 및 증착과 같은 응용 분야를 위해 설계된 원자로 유형입니다. 그것 은 "이온 에치 '장비 의 일종 으로, 그 안 에" 소오스' 와 기판 이 놓여 있는 원통형 "챔버 '와 그 주위 의" 가스' 흐름 및 기타 보조 장치 로 구성 되어 있다. 챔버 (chamber) 는 소스가있는 주요 반응 챔버와 가스 흐름 제어 (gas flow control) 및 보조 기능에 사용되는 여러 2 차 챔버로 나뉩니다. 주요 반응 챔버는 원통형이며 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 직경은 12 인치, 길이는 16 인치이며 활성 높이는 12 인치입니다. 1.3 × 10-4 Pa 및 0.6 Pa 사이의 압력에서 작동 할 수 있습니다. 최대 20 kV의 가속 전압으로 최대 1000 도의 실내 온도에서 가열 할 수 있습니다. 챔버의 주요 구성 요소에는 한 쌍의 정전기 이온 극 (electrostatic ion pole) 과 이온 필터 (ion filter) 가 포함됩니다. 극은 강한 전기장을 만들어 이온을 기판을 향해 이온화 (ionized) 하고 가속 (acceleration) 할 수 있으며, 이는 자기적으로 부양 된 샘플 홀더에 의해 제자된다. 이온 필터 (ion filter) 는 하전 입자만이 그것을 통과 할 수 있도록 허용하고, 따라서 증착 또는 에칭되는 물질의 유형을 제어한다. CANON COSMOS I-1201에는 아르곤, 트리클로라이드 붕소, 6 불화 황, 황화 수소, 전기 전원 공급 장치 및 기타 다양한 액세서리와 같은 일련의 가스가 제공됩니다. 이 시스템은 또한 조절 가능한 가스 유량을 가지며, 이는 분당 0.1 내지 100 입방 센티미터 (0.1 ~ 100 입방 센티미터) 와 조절 가능한 가스 흐름 패턴 (증착 각도 또는 에칭) 을 제어 할 수있다. 이 장치에는 에칭 (etching) 및 증착 매개변수 (deposition parameter) 를 사용자 정의하고, 기계 제어 및 성능 모니터링을 지원하는 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어에는 ANELVA COSMOS I-1201을 쉽게 작동 할 수있는 그래픽 사용자 인터페이스도 있습니다. 전반적으로, COSMOS I-1201 (COSMOS I-1201) 은 에칭 및 증착과 같은 반도체 산업의 다양한 프로세스에 적합한 정확하고 다재다능한 원자로입니다. 디자인은 고품질, 저용량 작업에 적합합니다. 또한, 비교적 간단 하고 조작 하기 가 쉽기 때문 에, 신속 하고 능률적 으로 "프로세스 '를 수행 해야 하는 사람 들 에게 유용 한 도구 가 된다.