판매용 중고 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966

CANON/ANELVA COSMOS I-1201은 일반적으로 표면 처리 및 기타 박막 응용 분야에 사용되는 플라즈마 기반 원자로입니다. 손쉽게 작동할 수 있도록 10.4 인치 (10.4 인치) 터치 스크린과 안전성을 보장하기 위한 다중 경고 시스템을 갖추고 있습니다. CANON COSMOS I-1201은 마이크로 웨이브를 사용하여 고온의 고밀도 플라즈마를 생성하고 유지합니다. 이 플라즈마 (plasma) 는 표적 가스 종을 흥분시키고, 이온화하고, 간접적으로 가열하는 데 사용되며, 이는 기질 물질과 반응하여 얇은 필름을 만듭니다. 프로세스의 모든 물리적 매개변수 및 목표 조건은 터치 스크린 패널 (예: 소스 파워, 가스 흐름 속도, 온도, 압력) 을 사용하여 사용자 정의할 수 있습니다. 높은 성능을 얻기 위해 원자로에는 고급 시스템 (advanced systems) 이 장착되어 있어 플라즈마 매개변수를 모니터링하고 유지 관리합니다. ANELVA COSMOS I-1201은 원자로의 중심 축 주위에 대칭 적으로 배치 된 원자로 구성 요소와 원통형 배열을 갖는다. 이 구성은 효율적인 플라즈마 생산을 위해 가스 챔버 크기와 플라즈마 밀도를 최적화하는 데 도움이됩니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 의 염기는 열 전도도가 낮은 특수 세라믹 재료 (special ceramic material) 로 만들어져 공정의 열 손실을 줄입니다. Plasma 장치에는 중앙 집중식 전원 공급 장치, 피드 시스템, 제어 및 모니터링 섀시, 중앙 제어 시스템이 있습니다. 실린더는 외부 간섭으로부터 원자로 챔버를 효과적으로 "밀봉" 하고 균일 한 플라즈마 매개변수를 유지하는 균일 한 플라즈마 온도 프로파일을 제공합니다. COSMOS I-1201 플라즈마 원자로에 사용되는 RF 소스는 유도 유형이며, 주파수는 1 MHz ~ 13.56 MHz로 조절 할 수 있습니다. 낮은 주파수를 사용하면 프로세스를 보다 효율적으로 실행하고 스퍼터링을 줄일 수 있습니다. 원자로 (reactor) 와 함께 설치된 전용 소프트웨어를 통해 전체 플라즈마 매개변수 (plasma parameters) 및 공정 조건 (process condition) 도 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 원자로는 고습도 조건에서 최적의 성능을 위해 염화 항 부식 코팅에 의해 차폐된다. 원자로 (Reactor) 는 소형 크기, 작은 설치 공간 및 작동하기 쉬운 제어 인터페이스 때문에 다른 패널 형 원자로 중에서 독특합니다. 고성능 및 저에너지 출력으로 CANON/ANELVA COSMOS I-1201 플라즈마 원자로는 많은 산업 재료 처리 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.