판매용 중고 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672

CANON/ANELVA Cosmos I-1201은 산업 스퍼터링 프로세스에 사용되는 진공 호 원자로 (VAR) 입니다. 이 장치는 다양한 산업 재료에 대한 반응성 및 비 반응성 금속, 유전체 및 세라믹 코팅의 증착 속도를 제어하는 데 사용되는 소형, 완전 밀봉, 자체 포함 장치입니다. 캐논 코스모스 I-1201 (CANON Cosmos I-1201) 은 진공 밀폐 챔버에 아르곤과 산소의 저압 혼합물이 채워지면 양극과 음극 사이에 형성된 아크로 구동됩니다. 호는 전기 전류에 의해 생성되며, 이는 음전하 음극에서 양전하 양극으로 흐른다. 이 호는 플라즈마 (plasma) 필드를 만들어 가열 된 표적에서 반응성 및 비 반응성 물질을 증발 한 다음 기판에 증착 한 후 원하는 산업 코팅 (industrial coating) 을 형성 할 수있다. ANELVA Cosmos I-1201에는 반응성 스퍼터링 또는 비 반응성 (마그네트론) 스퍼터링 모드에서 작동 할 수있는 미디어 위상 생성기가 장착되어 있습니다. 스퍼터링 모드에서 작동 할 때 Cosmos I-1201은 마그네트론 (magnetron) 기술을 사용하여 기존의 증발 시스템보다 적은 전력을 소비하면서 매우 균일 한 코팅을 만듭니다. 마그네트론 (magnetron) 은 챔버 (chamber) 의 중심 구성 요소 역할을하며, 그 디자인은 스퍼터링 코팅의 성능과 균일성에 큰 영향을 미칩니다. 동봉 된 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 시스템은 더 높은 기질 표면 온도를 제공하며, 침식 된 대상 물질을 실질적으로 감소시킨다. CANON/ANELVA Cosmos I-1201의 진공 시스템의 범위는 광대하며 10-4 Pa 이하에서 10-2 Pa까지의 압력을 제공합니다. 진공 실의 두 가지 특징은 챔버와 스위블 베이스 (swivel base) 사이에서 발견되는 트릴 (trilock) 입니다. 빠르고 유지 보수 및 정렬. 필름 증착의 유형에 따라, CANON Cosmos I-1201에는 멀티 챔버 작동을 위해 2 개 또는 4 개의 공정 챔버가 장착 될 수있다. 양극 냉각 시스템은 수냉식 전극과 수냉식 챔버 (water-cooled chamber) 를 기반으로하며 작동 중 효율적인 열 제거를 제공합니다. 특허받은 양극 냉각 및 오일 냉각 시스템 (Oil cooling systems) 은 양극의 열 손상을 방지하며 표적 기판 전체에서 균등하고 꾸준한 온도를 유지하기 위해 작동합니다. ANELVA Cosmos I-1201은 정확하고 반복 가능한 프로세스와 안전한 운영을 보장하기 위해 고급 기술을 사용합니다. 다중 사용 아키텍처 (Multi Use Architecture) 와 결합된 최신 소프트웨어를 사용하면 배치 프로세스의 여러 매개변수를 완벽하게 모니터링, 제어, 조정할 수 있습니다. 또한, 통합 인사이트 진단 (활성화되면) 은 전류 및 평균 빔 전원, 열 하중, 대상 전류 및 전압을 포함한 플라즈마 매개변수에 대한 정보를 기입합니다. 전반적으로, Cosmos I-1201은 수많은 산업 스퍼터링 프로세스를 촉진하는 안정적이고 효율적인 원자로 장치입니다. 이 제품은 첨단 엔지니어링 솔루션과 최첨단 기술로 구성되어 있어 정확성, 다양성, 안전한 운영을 보장합니다.