판매용 중고 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293597728

CANON/ANELVA COSMOS I-1201은 얇은 필름의 증착에 사용되는 소형 및 고성능 스퍼터링 원자로입니다. 최대 0.2 nm/s의 침전율로 박막을 생산 할 수있는 DC 마그네트론 (DC magnetron) 형 원자로이며, 사실상 모든 재료를 스퍼터팅 할 수있는 능력을 가지고 있습니다. 원자로에는 기판 보유 용 장착 구조, 챔버 대피를위한 배기 시스템, 공정 제어를위한 RF 발전기, 이온 전하를 조작하기위한 이온 소스 (ion source) 가 장착되어 있습니다. 원자로는 또한 이온 원, 이온 빔 가속 튜브, 전자 총 및 다단 전자 실린더 자석에 대한 마그네트론 형 가열 필라멘트를 특징으로합니다. 캐논 코스모스 I-1201 (CANON COSMOS I-1201) 은 고품질의 균일 한 박막을 생산할 수 있으며 거의 모든 재료를 침출 할 수 있습니다. 이 제품은 고주파 AC 전원 공급 장치를 활용하여 챔버에 저압 (low-pressure) 환경을 조성하여 금속 및 금속 산화물 필름의 스퍼터링을 가능하게합니다. 그것 은 구리, "알루미늄 '," 티타늄', 아연 및 기타 금속 과 매우 다양 한 산화물 "필름 '의 생산 에 적합 하다. 원자로의 전력수준은 1000 와트 (WW) 에 이른다. 목표물의 두께 (두께) 를 기준으로 증착율을 조정할 수 있다. ANELVA COSMOS I-1201의 전체 구조는 최소 유지 보수 및 낮은 실행 비용을 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계로 유지 관리를 위해 쉽게 분해 및 재 조립할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 에는 쉽게 청소할 수있는 실레드 탑 (sealedtop) 뚜껑이 있으며 기판을 회전 및 조정하여 원하는 각도와 증착 영역을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 가스 (gas) 및 전기 안전 차단 (electric safety shut-off) 스위치와 다양한 프로세스 모니터링 센서를 장착하여 최적의 성능을 유지하기 위해 사용할 수 있습니다. 코스모스 I-1201 (COSMOS I-1201) 은 강력한 스퍼터링 (sputtering) 원자로로 합리적인 비용으로 우수한 품질의 박막을 입금하는 데 사용될 수 있습니다. 공정에 대한 고정밀 제어 기능을 제공하며, 두께가 균일하고 재현성이 뛰어난 초박막 (ultra-thin film) 을 제작할 수 있습니다. 편리한 유지 관리 구조, 조절 가능한 전원 수준 및 검증된 내구성을 갖춘 CANON/ANELVA COSMOS I-1201은 박막 구성 요소 제작을 위한 완벽한 어플리케이션 선택입니다.