판매용 중고 CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453

CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah는 다양한 두께와 크기로 복합 반도체를 처리하도록 설계된 견고한 고속 원자로입니다. 이 원자로는 많은 대학, 산업 연구 개발 실험실에서 선택하는 도구입니다. VEECO 사바나 (VEECO Savannah) 는 자가 교정 기능을 갖춘 완전 자동화 프로세스를 제공하여 지속적인 수동 개입이 필요하지 않습니다. 도핑 (doping), 에피 택시 증착 (epitaxial deposition), 에칭 (etching) 과 같은 다양한 재료 합성, 제조 및 수정 프로세스에 사용할 수 있습니다. 원자로는 4 개의 독립 가스 채널로 만들어졌으며 최대 9 개의 웨이퍼 용량을 갖습니다. 각 "웨이퍼 '는" 로봇' 암 에 의하여 연속적 으로 처리 되어 가공 "가스 '와" 샘플' 재료 의 자동 전환 이 가능 하다. 이렇게 하면, 성장 속도 와 온도 와 같은 정확 한 요인 들 을 "프로그램 '하고 정확 하게 유지 할 수 있다. 캠브리지 나노 테크 사바나 (CAMBRIDGE NANOTECH Savannah) 는 저압 공정을 특징으로하며, 이는 가장 진보 된 에피 택시 증착 공정에 필요합니다. 온도 범위는 100 ° C-800 ° C이며 DC 또는 RF 전원과 함께 사용할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 사바나 (Savannah) 는 정확한 성장 제어를 위해 EOL (End-of-Run) 검출기, 진단 장비 및 폐쇄 루프 온도 제어를 제공합니다. 또한 편리한 웨이퍼 전송 시스템 (wafer transfer system), 통합 도량형 장치 (integrated metrology unit) 및 입자 오염을 방지하는 오염 방지 장치 (anti-contamination machine) 가 특징입니다. CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah는 복합 반도체 재료 및 기타 공정의 증착을 위해 특별히 설계된 고효율, 사용자 친화적 인 원자로입니다. 광범위한 프로세스 매개변수와 정확한 성장 제어 기능을 갖춘 VEECO 사바나 (VEECO Savannah) 는 반도체 연구원들에게 이상적인 툴로서, 새로운 프로세스를 탐색하고 개발하기위한 완벽한 플랫폼을 제공합니다.