판매용 중고 CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #9398705

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200
ID: 9398705
Single wafer ALD system.
CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200은 나노 스케일 구조의 고정밀 제작을 위해 설계된 고급 열 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량, 정밀한 자동 온도 제어, 종합적인 진공 및 흐름 제어 (vacuum and flow control) 를 결합하여 다양한 생산 규모 기술에 대한 정확한 가장자리, 균일 한 기판 온도, 일관된 특성으로 패턴과 기판을 만듭니다. CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200 (CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200) 은 고품질 패턴 기판에 고급 난방 및 제거 기능을 사용하며 작업 영역 전체에서 최대 600 ° C의 균일 한 온도를 제공 할 수 있습니다. 질소 무균 수술은 민감한 생산 과정에 대해 깨끗하고, 안전하며, 신뢰할 수있는 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. 이 장치의 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 와 소프트웨어 (Software) 를 통해 시스템을 쉽게 작동시키고 다양한 제작 프로세스에 대해 프로그램을 작성할 수 있습니다. 또한 온도 프로파일링, 가속 및 감속 컨트롤, 동작 제어 (motion control) 및 증착율, 화학 농도 및 매개변수에 대한 정확한 제어를 제공하는 환경 센서 (environmental sensor) 와 같은 다양한 자동 명령 및 제어 기능이 있습니다. 이를 통해 변화하는 요구에 맞게 증착 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 특허를받은 Savannah S-200의 3 차원 리프트 오프 프로세스는 이전보다 더 다양한 기능으로 2D, 3D 및 곡면 패턴을 용이하게합니다. 이것은 매우 정확한 3D 모션 제어 자산과 진공 증착실을 통해 가능합니다. 이 모델의 설계 기능은 향상된 정확도, 안정성, 반복성, 신뢰성 등 다양한 이점을 제공합니다. S-200 장비는 또한 여러 기판을 동시에 처리할 수 있으며, 단일 도구에서 효율적이고 대용량 (high-volume) 을 생산할 수 있습니다. 이를 통해 대규모 및 고성능 운영 용도로 시스템을 사용할 수 있습니다. SAVANNAH S200은 CAMBRIDGE NANOTECH의 최신 고급 CVD 시스템입니다. S-200 은 갈수록 늘어나는 고급 운영 프로세스의 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고정밀 (high-precision) 구성, 고급 제어 (advanced control) 및 명령 기능, 광범위한 고급 구성을 갖춘 S-200은 나노스케일 (nanoscale) 구조와 장치를 생산하기 위한 강력한 도구입니다.
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