판매용 중고 CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #9365906

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 Reactor는 고급 마이크로 장치 제조를 위해 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 장비입니다. 이 도구를 사용하면 설치 공간이 엄청나게 적은 영화 성장 기술을 증착할 수 있습니다. S-200 (S-200) 은 혁신적인 재료 연구 응용 프로그램뿐만 아니라 다양한 고급 유전체 및 금속 필름에 적합합니다. S-200의 전원은 주파수가 13.56MHz ~ 40MHz 인 RF 생성기입니다. 조절 가능한 전력 범위는 200W ~ 3,000W, 정밀도는 + 0.01m입니다. S-200의 기판 크기는 최대 온도 범위가 450 ° C인 4 인치 (10cm) 웨이퍼로 제한됩니다. 조정 가능한 압력 범위는 0.6 Torr에서 10 Torr입니다. 고품질 화학 증기 증착 결과를 충족시키기 위해 S-200은 5000 sccm의 흐름 만 요구합니다. S-200의 증착 진공 챔버에는 증착을위한 균일 한 가스 흐름을 만들기 위해 가스 입구 튜브가 있습니다. 전극은 플라즈마를 생성하기 위해 사용됩니다. 증발 불가능한 getter (NEG) 펌프는 티타늄 기반 getter 재료의 배열의 도움으로 불순물을 트랩합니다. 터보 분자 펌핑 그룹은 챔버 압력을 유지하는 데 사용됩니다. S-200에는 고급 안전 기능이 있습니다. 초과 온도 제한 제어 회로는 비정상적인 가스 흐름 또는 다른 챔버의 오작동을 방지합니다. 고압 케이블은 시스템의 고전원을 분리합니다. S-200의 입구 매니 폴드 (inlet manifold) 는 기체의 흐름을 제한하여 챔버의 더 높은 순도를 보장합니다. S-200은 또한 레시피 저장 장치를 사용하여 최대 5 개의 레시피를 저장합니다. 다른 동작 단계 (motion stage) 가 사용자 선호도에 따라 별도의 조이스틱 (joystick) 에 의해 제어되도록 모터 배열이 포함됩니다. 사용자에게 친숙한 직관적인 디자인의 컬러 LCD 터치스크린을 통해 사용자는 시스템을 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200 Reactor는 고급 유전체 및 금속 필름 응용 분야에 안전하고 안정적인 PECVD 솔루션을 제공하는 첨단 증착 도구입니다. "가스 '의 효율적 인 혼합물, 진공 조절 장치 및 정밀 한" 모터' 조절 장치 는 이 원자로 를 연구 실험실 과 생산 환경 에 모두 이상적 인 선택 으로 만든다.