판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9259772

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS는 다양한 연구 및 제조 응용 프로그램에 사용되는 고급 원자로입니다. 독점적 인 모듈 식 제어 바이 패스 아키텍처와 저압 및 고압 밸브가있는 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 구성됩니다. 공정 제어 및 원자로 성능을 최적화하기 위해 설계된 이 장비는 중화 (neutralization), 수소화 (hydrogenation) 및 전극 제작에 이상적입니다. 백본 -VTS는 CVD, PE, POV 및 CPC를 포함한 반응을 지원할 수 있습니다. 최소 압력이 1mbar 인 경우, 원자로는 획득 된 공정 및 재료 특성을 정확하고 안정적으로 재생산 할 수 있습니다. 다양한 유형의 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 과 압력 센서 (Pressure Sensor) 를 수용할 수 있는 효율적이고 견고한 설계로, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤 프로세스를 유연하게 구성할 수 있습니다. 원자로에는 또한 여러 개의 독립적으로 작동하는 샤워 헤드 어셈블리 (showerhead assembly) 가 있으며, 각각에는 별도의 ablation chamber 및 통합 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 시간, 온도, 압력 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 고급 내구성 기능이 설계에 통합되어, 원자로 챔버 전체에서 안정적이고 일관된 온도 균일성을 제공합니다. 이 장치는 매우 효율적인 진공 제어를 제공합니다. 내장형 저압 제어 (Low-Pressure Control) 를 통해 내부 압력을 제어할 수 있으며, 프로세스 결함으로 인한 갑작스런 압력 감소를 제거하고, 재현성이 뛰어납니다. 또한, 통합 감기 및/또는 온수 순환 기계는 반응 챔버 전체에서 균일 한 온도 프로파일을 보장합니다. BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS는 또한 세라믹 팁 쿼츠 크리스탈 센서, peristaltic 펌프, 디지털 판독 (DRO) 도구, 프로세스 결함 및 프로세스 허용 프로세스와 같은 사용자 친화적 인 추가 기능도 통합합니다. 글러브 박스 (glovebox), 추가 센서 (sensor) 등 다양한 액세서리를 설계에 통합하여 다중 원자로 처리 구성을 가능하게 합니다. 앞으로의 모든 기능은 백본-VTS (Backbone-VTS) 에 포함되어 있으며, 최고 수준의 품질과 성능을 충족하도록 설계된 최첨단 원자로입니다. 간편한 설치/운영 - 강력하고 효율적인 이 자산은 모든 연구/제조 (research/manufacturing) 애플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.