판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #293639202

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 293639202
웨이퍼 크기: 12"
CVD System, 12".
브룩스 자동화 백본 -VTS (BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS) 는 가스와 액체 형태로 다양한 전구체 재료를 처리하도록 설계된 원자로입니다. 원자로 는 고도 의 정밀도 로 고온 을 공급 할 수 있도록 설계 되었는데, 이 "에너지 '는 광범위 한" 에너지' 를 효율적 으로 생산 할 수 있게 해 준다. 브룩스 오토메이션 (BROOKS AUTOMATION) 의 백본-VTS 원자로는 다양한 고급 기술을 활용하여 산업 어플리케이션에 사용할 수 있는 효율적인 장비를 제공합니다. "시스템 '의" 코어' 는 열 균일성 을 위하여 열적 으로 조절 되는 회전기 이다. 이 기지에는 일련의 도가니 (crucible) 가 있으며, 각 도가니 용량은 최대 500mL입니다. 정확성을 보장하기 위해 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS 원자로는 잘 보호 된 온도 제어 장치에 의존합니다. 추위와 뜨거운 가스의 최적화 된 순환을 통해 최대 범위의 최대 0.2% 의 정밀도로 실온에서 섭씨 1,200 도까지 온도 (온도) 에 도달 할 수 있습니다. 온도는 수동으로 변경하거나 원자로의 프로그래밍 된 설정을 사용하여 변경할 수 있습니다. "프로그래밍 '기능 을 사용 하여, 연산자 는 원자로 의 온도" 커브' 를 10 개 까지 미리 설정 할 수 있으며, 광범위한 공정 "파라미터 '에서 효율적 이고 믿을 만한 연산 을 할 수 있다. 백본-VTS (Backbone-VTS) 는 또한 운영자가 전체 반응 프로세스를 모니터링 할 수있는 다양한 제어 기능과 고유 한 조건 모니터링 기기를 갖추고 있습니다. 여기에는 플라즈마 방출 모니터링, 열 균형 온도 제어, 접촉 열전대 또는 온도 조절이 포함됩니다. 동시에, 진공 압력, 가스 흐름, 감동 속도와 같은 추가 공정 제어 매개변수 (process control parameters) 는 모두 기계의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 조정하거나 모니터링 할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS 원자로는 다양한 산업 응용 프로그램에 효율적이고 안정적인 도구입니다. 고급 온도 조절 자산 (Temperature Control Asset), 다양한 모니터링 기능 (Monitor Function) 및 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 다양한 전구체 재료를 빠르고 쉽게 사용할 수 있습니다.
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