판매용 중고 ASM Polygon P8300 (2) P3000 #9383215
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ID: 9383215
CVD System, 12"
Mainframe with loadlock
Loadports
Transfer chambers
No process chambers
2009 vintage.
ASM Polygon P8300 (2) P3000은 세라믹 라인, 장기, 고온, 화학 증기 교반 원자로입니다. 이 원자로는 고순도 (high purity), 새로운 화학 물질 (new chemicals) 및 특수 재료 생산을위한 다단계 및 연속 프로세스에 이상적입니다. P8300 (2) P3000은 다양한 화학 반응과 관련된 연구 및 개발 활동에 적합합니다. 공정 챔버는 원통형이며, 내화성 세라믹으로 만들어졌으며, 고온, 부식 내성 마모판으로 늘어서 있습니다. 내화성 물질 (refractory material) 은 공정 챔버 내에서 온도를 유지시켜 휘발성 온도로부터 민감하고 위험한 물질을 보호하는 데 도움이됩니다. 회전 교반 요소는 조절 가능하며 최대 10,000 rpm의 속도에 도달 할 수 있습니다. 이것은 우수한 혼합 특성을 제공하여 반응물의 철저한 혼합과 균질화를 보장합니다. "탑 플레이트 '는 혈관 을 막고, 감동 원소 에 대한 구동" 메커니즘' 을 함유 하고 있어서, 반응 을 위한 최적 의 가치 로 감동 속도 를 제어 할 수 있다. P8300 (2) P3000은 상단 및 하단 판에 여러 개의 입구 (inlet) 및 출구 (outlet) 포트를 가지고 있으며, 반응물 입력을 가능하게하고 반응로에서 반응 혼합물을 제거 할 수있다. 이 포트는 프로세스 재료의 안전성과 견제를 최적으로 보장하기 위해 이중 밀봉 피팅 (double seal fitting) 으로 설계되었습니다. 또한, P8300 (2) P3000에는 비활성 가스 퍼지 시스템 (inert gas purge system) 이 장착되어 있어 원자로 본체의 일부가 비활성 대기로 제거되어 원하는 반응 조건을 유지할 수 있습니다. 또한 P8300 (2) P3000에는 PID 프로세스 컨트롤러와 다중 타이머로 구성된 디지털 컨트롤러가 있습니다. PID 제어기는 반응의 모든 매개변수를 모니터링하여 양호하고 통제 된 화학 처리를 유지하도록 설계되었습니다. 일괄 처리 실행의 10 진수를 계산하기 위해 통합 타이머를 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 원자로와 C-WiG 시스템의 호환성은 데이터 로깅 및 반응 데이터 수집 (실시간 및 사후 프로세스) 을 허용합니다. 요약하면, ASM Polygon P8300 (2) P3000은 회전 교반기가 장착 된 고온 세라믹 라인 원자로입니다. PID 컨트롤러, 다중 타이머, 프로세스 제어를 위한 비활성 가스 제거 시스템 (Inert Gas Purge System) 을 갖춘 디지털 컨트롤러가 있습니다. 이 원자로는 고순도 화학 생산 및 다단계/연속 공정의 연구 및 개발 활동에 이상적입니다.
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