판매용 중고 ASM Polygon 8300 #9004107
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ID: 9004107
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
ASM 폴리곤 8300 원자로 (ASM Polygon 8300 Reactor) 는 폴리머 생산 및 반응 공학 실험을위한 폴리머 빌딩 블록의 작용을 위해 설계된 단단한 장착, 다목적, 고압 가스 서스펜션 원자로입니다. 원자로에는 수정 된 유동화 된 침대 원리에 기반한 기계식 교반기와 가스 주입 장비 (gas injection equiple) 가 장착되어 있습니다. 원자로는 2 개의 평평한 스테인리스 스틸 엔드 플랜지가있는 원통형 스테인리스 압력 용기로 구성됩니다. 압력 용기는 최대 225 ° C에서 최대 작동 압력 8 바 (g) 의 총 내부 부피 8 리터를 제공합니다. 기체 거품 리프트 장치를 갖춘 고성능 패들 (paddle) 과 가스 리프트 (gas-lift) 시스템은 높은 에너지 입력 및 혼합 속도를 가능하게하여 반응 속도가 빨라지고 반응 선택성이 높아집니다. Polygon 8300에는 개방형 가스 분사 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 압력 용기의 바닥에 위치한 다각형 모양의 '가스 버블 리프트 (gas bubble-lift)' 인젝터와 용기의 상단으로 이어지는 콘센트 파이프 (outlet pipe) 로 구성되어 있으며, 큰 압력 손실없이 원자로에 가스가 포함될 수 있습니다. 원자로는 또한 모든 계측, 밸브, 펌프, 전기 부품 (electrical component) 이 선박 자체에 통합 된 안전한 작동 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 압력선 과 그 끝 "플랜지 '에는 온도 와 압력" 센서' 를 위한 표준 열전 과 백업 안전 을 위한 안전 압력 "밸브 '가 장착 되어 있다. 독립적 인 압력 게이지는 선박 내부의 공구 압력을 나타냅니다. 또한 ASM Polygon 8300 원자로는 작동이 쉽고 효율이 극대화되도록 설계되었습니다. 모든 장비는 열 및 압력 손실을 최소화하고 빠른 시작 시간 (start up time) 을 용이하게하도록 설계되었습니다. 또한, 원자로는 자동 작동 및 공정 제어를 위해 설계되었습니다. 다각형 8300은 활성, 연속 흐름 조건에서 작동하기에 적합합니다. 수유 자산은 시약 (reagent) 과 반응 생성물을 모두 전달 할 수있는 수직으로 장착 된 peristaltic 펌프로 구성됩니다. 요약하면, ASM Polygon 8300 Reactor는 폴리머 합성, 반응 공학 실험 및 기타 응용 분야에 적합한 고효율 다목적 원자로입니다. 가스분사 (Open Gas Injection) 모델은 높은 에너지 입력 (Input) 과 혼합 속도 (Mixing Rate) 를 제공하는 반면, 압력 용기와 통합 안전 장비는 작동 중 안전을 보장합니다. 자동화된 운영 및 프로세스 제어 기능을 통해 효율성을 극대화할 수 있습니다.
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