판매용 중고 ASM INTERNATIONAL Eagle XP4 #293822278

ASM INTERNATIONAL Eagle XP4는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 고성능 기능을 갖춘 Eagle XP4는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 고품질 유전체 및 금속 필름을 배치하여 최첨단 전자 기기를 생산할 수 있습니다. 원자로에는 실레인 (SiH4), 암모니아 (NH3), 산화 질소 (N2O) 및 테트라 에틸 오르토 실레이트 (TEOS) 와 같은 여러 소스 가스가 장착되어 있으며, 필름 특성에 대한 정확한 제어를 갖는 광범위한 물질의 증착이 가능합니다. "가스 '의 흐름 속도, 온도, 압력, RF 동력 을 포함 하여 공정" 파라미터' 를 주 의 깊이 조정 함 으로써 "필름 '특성 을 조정 하여" 프로그램' 의 특정 한 요구 조건 을 충족 시킬 수 있다. ASM INTERNATIONAL Eagle XP4의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 생성 시스템 (Plasma Generation System) 으로 전체 웨이퍼 표면에서 균일하고 안정적인 플라즈마를 보장합니다. 이 균일성은 일관된 필름 두께와 속성을 달성하는 데 필수적이며, 고성능 반도체 장치 제작에 필수적입니다. 원자로는 또한 플라즈마 조성을 실시간으로 모니터링하기위한 정교한 광학 방출 분광학 (OES) 시스템을 갖추고 있으며, 공정 제어와 향상된 필름 품질을 제공합니다. 이글 XP4 (Eagle XP4) 는 대용량 웨이퍼 (Wafer) 와 빠른 프로세스 레시피를 통해 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되어 주기 시간을 최소화합니다. 반도체 제조 환경에서는 이러한 효율성이 필수적이며, 시장 진출 시간 및 생산 수익률이 중요한 요소입니다. 원자로는 표준 200mm 및 300mm 직경에서 더 큰 기판까지 다양한 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 제조 요구에 따라 유연성을 제공합니다. ASM 인터내셔널 이글 XP4 (ASM INTERNATIONAL Eagle XP4) 에는 증착 기능 외에도 고급 플라즈마 에칭 기능이 장착되어 있어 박막의 정확한 패턴화 및 구조화가 가능합니다. 이 이중 기능은 원자로 (reactor) 를 단순한 유전체 증착에서 복잡한 장치 제조에 이르기까지 다양한 반도체 프로세스에 대한 다재다능한 도구로 만듭니다. 원자로의 챔버 설계 및 가스 처리 시스템 (gas handling system) 은 고순도 작동에 최적화되어 증착 과정에서 오염 및 입자 생성을 최소화합니다. 이러 한 청결 함 은, 특히 고도 의 "반도체 '제조 분야 에서, 제작 된 장치 의 안정성 과 성능 을 보장 하는 데 필수적 이다. 전반적으로 Eagle XP4는 최첨단 기술과 뛰어난 성능 및 신뢰성을 결합한 PECVD 원자로의 새로운 표준을 설정합니다. 반도체 제조업체들이 '기기 성능 (device performance)' 과 '혁신 (innovation)' 의 경계를 넓히고자 하는 데 없어서는 안될 도구다. ASM INTERNATIONAL Eagle XP4는 정밀 제어, 높은 처리량, 다용도로 차세대 반도체 기술을 추진 할 준비가되었습니다.