판매용 중고 ASM F120 #9384773

제조사
ASM
모델
F120
ID: 9384773
Thermal ALD system Upto 400°C (4) Reactors, 4" Single wafers Deposition: Al2O3: TMA and H20 TiN/TiO: TiCl and N2/O2 Uniformity: 80 - 90 mm.
ASM F120 원자로는 다양한 표면 수정 프로세스에 사용되는 입자 침대 원자로 유형입니다. 이 원자로는 연속 흐름 마이크로파 플라즈마 공정을 사용하는데, 여기에는 마이크로파 플라즈마 필드와 회전 입자 베드의 조합이 포함됩니다. 이 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 및 화염 열분해 (flame pyrolysis) 와 같은 기존의 표면 변형 방법과 비교할 때 여러 가지 독특한 이점을 제공하며, 표면 산화 및 코팅, 표면 수동화, 표면 안정화 및 붕소 질화물 도핑과 같은 응용 분야에 이상적입니다. ASM F 120 원자로는 3 가지 주요 구성 요소 (전자 레인지 플라즈마 생성기, 회전 입자 침대 및 공정 챔버) 로 구성됩니다. "플라즈마 '발전기 는" 마그네트론' 관 을 이용 하여 원자로 실 에 주입 되는 뜨거운 "마이크로 '파" 플라즈마' 장 을 발생 시킨다. 회전 입자 베드 (rotating particle bed) 는 플라즈마 필드 내의 입자를 운반하는 데 사용되므로 표면 수정 과정의 효율성과 균일성이 높아집니다. 공정 챔버를 살펴보면, F120 원자로에는 닫힌 하단 끝, 조절 가능한 노즐, 온도 게이지, 가스 입구, RF 전원 연결 및 기타 공급 재료를위한 4 개의 포트가있는 석영 튜브가 있습니다. 챔버에는 일련의 동심 석영 고리와 전열기가 있습니다. "링 '은 방사형 압력 구배 를 만들고 전열기 는" 마이크로' 파 가 "에너지 '를 입자 로 전달 하기 전 에 공정" 챔버' 를 미리 데우는 데 사용 된다. F 120 원자로의 특성은 온도, 압력, 가스 유속, RF 전력 등 다양한 매개 변수를 사용하여 미세 조정 할 수 있습니다. 최대 2000 C의 온도 범위 (temperate range) 로이 원자로는 극단적 인 조건에서 작동 할 수 있으며, 더 높은 수준의 균일성과 성능을 제공합니다. 이 원자로는 또한 금속, 플라스틱, 세라믹 재료를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 결론적으로, ASM F120 원자로는 다양한 목적과 재료에 사용되는 다재다능하고 효율적인 입자 침대 원자로입니다. 이 원자로는 전자 레인지 플라즈마 (microwave plasma) 공정을 사용하여 균일하고 효과적인 표면 수정을 제공하며, 기존의 방법과 비교할 때 많은 이점을 제공합니다. 극한 조건에서 작동하고 다양한 재료를 처리 할 수있는 능력을 갖춘 ASM F 120 원자로는 표면 공학 (surface engineering) 과 질화물 붕소 도핑 (boron nitride doping) 분야의 사용자들 사이에서 인기있는 선택입니다.
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