판매용 중고 ASM Epsilon E3200 #9196380
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판매
ID: 9196380
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200은 ASM Nuclear Technologies가 설계 한 발전 원자로입니다. 차세대 원자로의 SMR (Small Modular Reactor) 로, 잠재적 에너지 요구에 대한 안전하고 효율적이며 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. Epsilon E3200의 전력 범위는 200MW이며, 통합 가압 수로 (PWR) 1 차 냉각 기술을 사용합니다. 원자로 코어는 고밀도 붕소 강판 벽으로 둘러싸여 있으며, 내부에는 로우 리드 스페이서 그리드, 제어봉, 연료 채널 및 칼란 드리아 튜브 (calandria tube) 가 포함 된 규제 된 코어 장비가 있습니다. 이것은 원자로의 효율적이고 안전한 작동을 보장합니다. 원자로 는 또한 수동식 열 제거 장치 (passive heat removal system) 를 갖추었는데, 이 장치 를 통해 원자로 는 모든 전력 을 상실 할 때 식힐 수 있다. 이 장치는 중력 및 자연 순환 원리를 기반으로하며, 전력을 사용하지 않습니다. 이 최첨단 기술을 통해 ASM Epsilon E3200은 현재 시판되고 있는 가장 안전한 원자로 중 하나입니다. 엡실론 E3200 (Epsilon E3200) 에는 디지털 계측 및 제어기가 포함되어 있어 원자로 매개변수의 실시간 모니터링이 가능합니다. 이는 원자로의 효율성을 극대화하는 데 도움이 되며, 잠재적인 문제나 문제에 대한 조기 경고 (early warning) 도 제공합니다. ASM Epsilon E3200은 핵 규제위원회 (Nuclear Regulatory Commission) 의 광범위한 안전 검토를 통과했으며 고급 안전 기능 인증을 받았습니다. 고급 기술 및 안전 기능을 갖춘 Epsilon E3200 (Epsilon E3200) 은 원격 위치에서 사용할 수 있으며, 기존 전원 공급 장치에 대한 액세스가 제한적이거나 존재하지 않을 수 있습니다. 이를 통해 ASM Epsilon E3200은 효율적이고 안전한 전력 공급을 원하는 사람들에게 적합한 옵션입니다.
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