판매용 중고 ASM Epsilon E3200 RP #9226508

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제조사
ASM
모델
Epsilon E3200 RP
ID: 9226508
웨이퍼 크기: 12"
EPI Deposition system, 12" Left hand Front end interface: (2) Load ports (Isoport) (2) FOUP ID Readers RF Side louvered panels / Flat top Light tower: 4 Position (STD) Power: 480 VAC, 50 Hz.
ASM 엡실론 E3200 RP (ASM Epsilon E3200 RP) 는 작은 크기와 높은 작동 효율로 인해 원격지에서 사용하도록 특별히 설계된 원자로입니다. 원자로는 온도 범위가 -10 ° C ~ + 50 ° C 사이인 스테인레스 스틸 (stainless) 구조입니다. RP 모드에서는 열 단열이 잘 구성되고 온도 조절이 뛰어납니다. 큰 RP 챔버를 사용하면 다양한 화학 물질로 작동하여 대용량 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 안전성 측면에서 Epsilon E3200 RP (Epsilon E3200 RP) 는 내장 압력 완화 밸브 (Pressure Relief Valve) 와 같은 통합 안전 장치와 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 구조의 견고한 부식 방지를 통해 설계되었습니다. 또한, 원자로에는 최적의 안전을 위해 프로그램 된 온도에서 원자로를 자동으로 끌 수있는 열 설정 스위치 (thermal setting switch) 가 장착되어 있습니다. 원자로는 효율성 측면에서 에너지 효율성을 65% 까지 끌어올려 "장기적 비용 절감 '을 도모할 수 있다. 저압 가스 (low pressure gas) 를 사용하여 작동하므로 해외 응용과 같은 제한된 공간에서 작동하는 모든 시스템에 이상적입니다. 또한, 2 개의 나선형 상처 가열 요소와 절연 된 부품은 더 나은 열 효율성 및 최적의 성능을 가능하게합니다. 원자로에는 독보적인 자기 조절 밸브 (self-regulating valve) 가 장착되어 있어 수작업 없이 자동적으로 조절할 수 있다. 또한 ASM Epsilon E3200 RP에는 자동 압력 조정, 자동 온도 조절 (Automatic Pressure Adjustment) 등 다양한 작동 모드와 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 원자로 (reactor) 를 달성하려는 프로세스에 따라 더 낮은 열 설정 (lower, medium, and higher heat settings) 과 같은 특정 작동 모드로 설정할 수 있습니다. 전반적으로 Epsilon E3200 RP는 원격 위치를 위해 특별히 설계된 고성능 원자로입니다. 안전 장치 (Safety Mechanism) 가 내장되어 있고, 에너지 효율성이 뛰어나며, 열 관리 기능이 뛰어나며, 제한된 공간에서 컴팩트하고 효율적인 원자로를 필요로 하는 모든 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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