판매용 중고 ASM EPSILON 3200 #9366109
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판매
ID: 9366109
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200은 재료 테스트, 중성자 방사선 촬영 및 중성자 활성화 분석과 같은 응용 분야를 위해 설계된 고급 연구 원자로입니다. 풀 타입 워터 탱크와 직경 40cm 코어를 갖춘 3MWth 저전력 원자로이며, 20% 농축 된 이산화우라늄 연료로 연료를 공급합니다. 풀의 부피는 30m3이며, 원자로 (reactor) 는 하위 임계 상태로 작동하며, 이는 지속적인 제어봉 삽입이 필요하다는 것을 의미합니다. 원자로는 코어 위에 설치된 프리 히터 (pre-heater) 에 의해 열적으로 보호되며, 중성자 플럭스는 감속기, 농축 및 연료 요소 공급 (feeding) 을 사용하여 변경 될 수있다. 제어 시스템은 전기 기계 시스템 (electromechanical system) 을 기반으로하며, 장애 안전 점 2 개 (fail-safe point) 와 원자로 (reactor) 를 정상 작동으로 되돌릴 수있는 논리가 있습니다. 안전 시스템은 과열, 연료 요소 용해, 방사선 누출, 안전 시스템 손실 등 운영 중 발생할 수있는 사고를 방지하기 위해 설계되었습니다. 가장 높은 안전 요구 사항을 위해 자동 재시작 (restart) 및 원자로 스크램 (scram) 시스템을 갖춘 비상 전원 공급 시스템이 통합되었습니다. EPSILON 3200은 핵 물질, 중성자 활성화, 샘플 조사, 중성자 방사선 촬영, 중성자 산란 및 기타 중성자 관련 응용에 대한 연구를 위해 설계된 안정적이고 효율적인 연구 원자로입니다. 여러 가지 에너지의 하이 플럭스 중성자 (high-flux neutron) 를 제공 할 수 있으며, 이는 다른 응용 프로그램에서 사용됩니다. 쉽게 관리, 운영할 수 있으며, 다양한 연구에 적합합니다.
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