판매용 중고 ASM EPSILON 3200 #9198737
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판매
ID: 9198737
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200은 원자로 유형입니다. LWR (경수로) 장비를 사용하여 대규모 전기 생산에 적합합니다. 원자로의 주요 구성 요소는 원자로 코어, 1 차 냉각수 시스템, 연료봉입니다. 원자로 코어는 수백 개의 우라늄 연료봉으로 구성된 연료 어셈블리로 구성됩니다. 코어는 모든 부품을 포함하도록 설계된 스테인리스 (stainless) 압력선으로 둘러싸여 있습니다. "코어 '는 주 로 냉각수 역할 을 하는 경수" 풀' 에 잠긴다. 이 냉각수 는 "노아르 '에서 일어나는 반응 에 의해 생성 되는 열 을 흡수 한 다음, 그것 을 2 차 냉각수 로 옮겨" 터어빈' 발전기 로 옮긴다. 연료봉 외 에도, "코어 '에는 감속재 가 들어 있는데, 이것 은 중성자 가" 우라늄' 원자 를 분열 시킬 때 방출되는 전자 의 속도 를 늦춘다. 이 로 말미암아 핵 반응 이 둔화 되어, 원자로 는 제어 되지 않은 연쇄 반응 과 관련 된 위험 에 처하기 쉽게 된다. 그렇다. 연료 봉의 밀도는 또한 반응 속도를 더 제어하기 위해 변할 수있다. 보안은 EPSILON 3200의 또 다른 중요한 측면입니다. 원자로의 작동과 보조 안전 시스템을 모니터링하는 여러 수준의 제어 시스템 (Control System) 을 사용합니다. 또한, 비상 사태 가 발생 할 때, 원자로 를 차단 하는 데 사용 될 수 도 있다. 또한, 원자로는 생성 될 수있는 방사성 폐기물을 포함하도록 설계되었습니다. 원자로는 둘 다 격리 구조를 갖추고 있으며, 2 차 격리 장치 내에 수용된다. 결론적으로 ASM EPSILON 3200은 경수로 원자로입니다. 그것 은 "스테인레스 '강 압력선 을 사용 하여 원자로" 코어' 의 성분 을 함유 하고 있으며, 광수 "풀 '로 둘러싸여 있다. "코어 '의 연쇄 반응 을 안전 한 수준 으로 유지 하기 위해" 오더레이터' 와 "컨트롤 시스템 '이 사용 되며, 사고 의 경우 에는 격납기 가 사용 된다. 이러한 모든 요소를 염두에두고 EPSILON 3200은 안전하고 안정적인 전력 공급원입니다.
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