판매용 중고 ASM EPSILON 3200 #293818092
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ID: 293818092
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Epitaxial (EPI) reactor, 12"
Genmark WHC-Robot
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
Asyst FI-Robot
Purifier Module
Option system: OS9
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200은 2,400 ~ 2,800rpm 범위의 고성능 원자로입니다. 다재다능한 장치는 안전 향상 및 내구성 향상을 위해 스테인리스 스틸 반응 챔버를 갖추고 있습니다. 이 설계에는 원자로가 작동 범위 전반에 걸쳐 최적의 작동 온도를 유지할 수있는 고급 제어 기능 (Advanced Control Feature) 이 포함되어 있습니다. 이로써, 장비는 반응의 성능이나 품질에 영향을 주지 않고 다양한 프로세스 조건 (process condition) 과 압력 (pressure) 에서 안전하게 작동 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 내에 포함 된 특허받은 난방 및 냉각 메커니즘은 오일 (oil) 과 가열수 (heated water) 의 조합을 사용하여 반응 챔버의 균등하고 통제 된 난방과 반응 생성물의 냉각을 제공하여 시스템을 안전하고 일관되게 유지할 수 있습니다. 또한, 가열 및 냉각 메커니즘은 다른 원자로에서 발견되는 것 이상의 전력 수준 및 온도에서 작동 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 프로세스 조건을 모니터링하고 성능의 모든 이상을 감지하는 다양한 정교한 센서가 포함되어 있습니다. 이러한 센서에는 다양한 온도, 압력, 유속 감지 장치 (Flow Rate Sensing Device) 가 포함되어 있으며, 이 장치를 사용하여 최적의 성능 및 안전을 위해 작업을 지속적으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 여러 개의 경보 (alarm) 와 안전 시스템 (safety system) 을 포함하며, 이 시스템은 예기치 않은 문제가 발생할 경우 프로세스를 종료합니다. 원자로 (Reactor) 의 다목적 설계는 또한 온도 및 압력 극한 테스트 (pressure extreme limit testing) 및 자동 클레이브 프로세스 (autoclave process) 를 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 공구는 최대 2 개의 원자로를 수용 할 수 있으며, 각 원자로는 약 1500 리터의 재료를 처리 할 수 있습니다. 안전하고 신뢰성 있는 공정 (Safe Process) 을 제공하는 것 외에도, 원자로를 쉽게 구성하고 서비스 할 수 있습니다. 또한 크기 (Dimension) 도 작으며 특수 숙박 시설이나 추가 공간 없이 대부분의 표준 공장 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로, EPSILON 3200 (EPSILON 3200) 은 최적의 안전성과 성능을 제공하도록 설계된 다양한 기능과 기능을 갖춘 신뢰할 수 있는 다용도 원자로입니다. 이 자산은 구성, 유지 보수가 용이하며, 다양한 프로세스를 처리할 수 있는 고성능 원자로 (HPR) 를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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