판매용 중고 ASM Epsilon 2000 #9050020
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9050020
웨이퍼 크기: 8"
EPI Reactor, 8"
Model 26
Stand-alone, single wafer
Reactor module:
Model RP for reduced pressure processing and ATM processing
Vacuum load locks (scroll pump not included)
Clean-room front with color touch screen operator interface
(2) independent wafer cassette load locks
Right-hand maintenance access configuration
Automated wafer handling section with Bernoulli wand
VAT – reactor gate valve
Maintenance access: 2 0port in wafer handling chamber
Epitaxy process chamber, susceptor and related quartzware for 200mm wafer processing
Toshiba graphite: square
Observation windows on maintenance access doors in wafer handling and process chamber sections
68040-based computer
Operating system and software with 4.3 Gbyte hard disk drive
Multiport Injector Flange with water cooling circuit
Vibration Isolation Package
HCl detector: reactor module
Adjustable Spot Lamps
Gas control module:
Orbital welded 316L stainless steel, electropolished interior surface tubing
Line and component connections via metal-gasketed fittings
.003 micron point-of-use filtration
AERA mass flow controllers: Model 7810/7820
Gas sampling ports
Gas Loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etch
Dopant #1, diborane (B2H6) P-dopant, diluent and inject
Do pant #2, phosphine (PH3) or arsine (AsH3) N-dopant, diluent and inject
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Auxiliary loop for TCS with MFC and Lorex Piezocon controller
Advanced application valving
HCl detector – gas module
Precision Vent Matching
Power module:
Single point, 3-phase, 60 Hz, 480 VAC power input
Lamp array SCR packs
110 VAC/24 VAC power distribution circuits
Power and load protection devices
0 ft. (15.2m) of interconnect wiring harness for remote operation
Engineering console:
Color touch screen operator interface
Operator key lock control
Temperature control digital electronics
50 ft. (7.6m) of interconnect wiring harness for remote operation
Source cabinet with mini bubbler:
10-liter mini-bubbler
H2 Detector
HCl detector
TCS/DCS.
ASM 엡실론 2000 (Epsilon 2000) 은 다양한 응용 분야에서 다양한 요구를 충족하도록 설계된 다용도 원자로입니다. 이 원자로는 안정적이고, 유지 보수가 적고, 안전하게 작동하는 원자로이며, 핵기술에 필요한 다양한 핵분열성 물질 (fissile material) 과 동위원소 농축 연료 (isotopically-enriched fuel) 를 생산할 수 있습니다. Epsilon 2000은 나트륨 냉각 고속 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 액체 나트륨을 냉각제로 사용하며, 이는 다른 원자로 유형보다 높은 온도에서 작동 할 수 있습니다. 이중벽 코어 (double-walled core) 와 강화 강철 격납선으로 건설되어 외부 소스의 안전성과 보호를 강화합니다. 또한 ASM 엡실론 2000 (Epsilon 2000) 은 다양한 제어 시스템을 사용하여 코어가 안전 한도를 초과하지 않도록 합니다. Epsilon 2000은 다른 원자로와 비교할 때 많은 이점이 있습니다. 에너지 효율은 85% 로, 연료가 적으면 더 많은 에너지를 생산할 수 있습니다. 연비 개선은 가동비용 (operating cost) 이 낮고 폐기물이 적어 보다 비용 효율적인 원자로 옵션입니다. 또한, ASM 엡실론 2000 (ASM Epsilon 2000) 의 디자인은 더 효율적인 연료 활용을 가능하게한다. 즉, 열 전달을 통해 에너지를 낭비하기보다는 더 많은 연료를 에너지로 변환 할 수있다. 또한 Epsilon 2000에는 긴급 코어 전원 차단 시스템 (Emergency Core Power Cut-off System) 및 격리 구역 안전 시스템 (Isolation Zone Safety System) 과 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 원자로 는 이러 한 특징 으로, 긴급 상황 에 신속 히, 안전 하게 대처 할 수 있도록 설계 되었다. 그 에 더하여, 원자로 는 연료 공급 및 유지비 시술 로 작동 할 수 있는 "시스템 '을 가지고 있으며, 그" 시스템' 의 내부 구성 요소 들 은 제대로 유지 되어 있고 연료 는 정기적 으로 교체 된다. ASM 엡실론 2000 (Epsilon 2000) 은 신뢰할 수 있는 원자로로, 다양한 어플리케이션에 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 전력을 공급할 수 있습니다. "고급 안전시스템 (Safety System) '과" 효율적인 연료 활용도 (Fuel Utilization)' 는 환경 유지와 사용자의 안녕을 위한 노력을 보여준다. Epsilon 2000은 원자력 생산에 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다