판매용 중고 ASM Eagle 10 #293819962

제조사
ASM
모델
Eagle 10
ID: 293819962
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 8" 3 channels Process: TEOS process Decontamination: PFC 2000 vintage.
ASM Eagle 10은 오늘날의 까다로운 결합 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 자동 광 정밀 본더입니다. 운영 유연성, 안정적인 운영 및 빠른 주기 시간을 제공합니다. 이 올인원 장비는 진정한 3 차원 시청, 다기능 XY 축 스테이지, 레이저, 프로세스 제어 및 시각화를 위한 다양한 비전 도구를 결합합니다. 직관적이고 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영자는 매우 섬세하고 복잡한 장치를 빠르고 재현적으로 결합할 수 있는 기능과 제어 기능을 갖추고 있습니다. ASM EAGLE-10은 최신 디지털 서보 제어 기술과 함께 완전한 XYZ 정렬 기능을 제공하여 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 결합을 제공합니다. 이글 10 (Eagle 10) 은 정밀 X-Y 갈보스칸 헤드에 장착 된 고출력 635nm 레이저를 사용하여 오늘날의 고급 전자 장치에 필요한 정밀 결합의 정확하고 중요한 정렬을 보장합니다. 고정밀 XYZ 단계는 여러 수준의 피드백을 사용하여 사용 가능한 최고 정확도를 제공합니다. 내장형 고해상도 이미징 시스템은 광학 (optical) 센서와 레이저 (laser) 센서를 모두 사용하여 본드 프로세스를 정확하게 정렬하고 모니터링합니다. EAGLE-10은 고유 한 "컴포넌트 로케이터" 기능을 사용하여 결합할 장치를 정확하게 찾습니다. 이 장치는 또한 최적의 결합 정확도를 위해 HD 광학 확대, 컬러 이미징, 에지 감지 기능을 제공합니다. ASM Eagle 10은 또한 프로세스 반복성과 재생성을 보장하는 고급 "모델 기반" 제어 기술을 제공합니다. 이 지능형 비전 기반 머신은 시각적 피드백을 사용하여 각 결합이 정확하게 배치되고 정확하게 형성되도록 합니다. ASM EAGLE-10의 마이크로 프로세서 제어 레이저는 정확성과 반복성으로 개별 결합을 0.04mm ~ 0.3mm 크기로 만들 수 있습니다. 이글 10 (Eagle 10) 의 첨단 대면적 결합 에뮬레이션 기술은 각 결합이 최대 물리적 및 전기 연결에 최적화되도록 설계되었습니다. 이 도구는 병렬 및 혼합 기술 결합을 지원하며, 금, 구리, 은과 같은 여러 재료를 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 EAGLE-10 (EAGLE-10) 은 오늘날의 고정밀 결합 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급, 신뢰할 수있는 정밀 본더입니다. 탁월한 성능과 강력한 기능을 제공하므로 효율적이고 정확하게 결합할 수 있습니다 (영문).
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