판매용 중고 APPLIED MICROSTRUCTURES MVD 100 #293647151

APPLIED MICROSTRUCTURES MVD 100은 다양한 산업 박막 제조 공정을 지원하도록 설계된 소형 UHV (ultra-high-vacuum) 마이크로 파 플라즈마 기반 박막 원자로입니다. 그 임무는 다양한 구성과 두께로 박막 (Thin Film) 의 증착을위한 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공하는 것입니다. 이 원자로에는 2.45 또는 5.8 GHz 주파수 대역으로 작동하는 이중 주파수 장비 (Dual Frequency Equipment) 가 장착되어 있으며, 운영자는 원하는 필름 재료에 따라 증착 사이를 전환하는 기능을 제공합니다. 견고한 알루미늄 챔버 (aluminum chamber) 와 결합 된 스테인리스 스틸 (stainless steel) 건설은 장기 생산 수준의 유지 보수 주기를 견딜 수있는 강력한 시스템입니다. MVD 100은 혁신적인 고에너지 드라이 진공 장치 (dry vacuum unit) 를 사용하여 매우 작은 잔류 입자를 포획하고 증착이 시작되기 전에 필름이없는 진공 환경을 보장합니다. 이 기계는 직접 구동 터보 펌프, 화학 펌프 및 무유 압축 공기 펌프의 조합을 사용하여 기본 압력 10-8 Torr (6 x 10-9 Torr) 에 도달 할 수 있습니다. APPLIED MICROSTRUCTURES MVD 100에서 사용하는 혁신적인 플라즈마 전달 도구는 최대 플라즈마 균일성과 기판 재료의 최소 오염을 보장하도록 설계되었습니다. 그것은 다양한 밀도와 플라즈마 종을 가진 플라즈마 (plasma) 환경을 만들 수있다. 에셋은 Reactive 또는 Non-Reactive 프로세스의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. MVD 100 설계는 사전 예방적 유지 관리를 위한 비용 효율적인 솔루션을 추가로 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 전원 공급 장치, 플라즈마 제어, 포장, 전송, 기타 외부 연결 등 모든 구성 요소에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 내장 된 안전 기능에는 안전 인터 록 (safety interlock) 모델이 포함되어 있으며, 이는 예기치 않은 압력 변동이 감지 될 때 플라즈마의 전원을 즉시 끕니다. APPLIED MICROSTRUCTURES MVD 100은 마이크로일렉트로닉스, 광학 코팅, 평면 패널 디스플레이 기술 등 박막 제조에 필수적인 도구입니다. 그 성능 및 비용 이점은 많은 산업 박막 제조 공정의 실행 가능한 후보입니다.