판매용 중고 APPLIED MATERIALS Producer III #176119
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APPLIED MATERIALS Producer III는 박막 재료 제작에 사용되는 고성능 도구입니다. 박막의 증착을 높은 수준의 품질과 균일 (unifority) 로 조절 할 수있는 고급 원자로 장비다. 생산자 III (Producer III) 는 높은 수준의 정확성과 반복성을 가진 다중 소스 멀티 타겟 시스템입니다. 이 시스템은 최대 10-9 torr의 기본 압력을 달성 할 수있는 진공 챔버를 사용합니다. 챔버에는 상부 기판 포지셔너와 외부 로드 록이 장착되어 있습니다. 통합 된 소스 기판 및 표적은 각 소스 재료 사이에 세라믹 절연체가있는 지르코니아 (zirconia) 로 만들어져 효과적인 분리를 달성하고 균일 성을 유지합니다. APPLIED MATERIALS Producer III는 이중 빔 전자 빔을 사용합니다. 전자 빔 (electron beam) 은 얇은 필름의 뛰어난 균일성과 품질을 보장하는 단단히 조절 된 공정에서 소스 물질을 기판으로 증발시키는 데 사용됩니다. 듀얼빔 (dual-beam) 과 하이 진공 (high-vacuum) 환경의 조합은 고도의 고정밀 증착 프로세스에 이상적입니다. 기계는 또한 반응 증착에 사용될 수있다. 여기서 기질은 전자 빔 (electron beam) 에 노출되는 동안 반응성 가스 (reactive gas) 에 노출된다. 전자 "빔 '과 반응성" 가스' 의 결합 은 "박막 '의 조성 을 정확 하게 조절 하고 복잡 한" 박막' 구조 의 조성 을 가능 케 한다. 생산자 III 도구에는 여러 프로세스 제어 및 모니터링 도구가 있습니다. 여기에는 실시간 프로세스 모니터 (real-time process monitor), 프로세스 조건의 데이터 로깅 (data logging of process conditions) 및 박막 증착 프로세스의 정확성을 향상시키는 통합 자동 기판 배치 에셋이 포함됩니다. 즉, 이러한 도구를 사용하면 프로세스를 보다 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있으므로 박막 구조의 균일성 (unifority) 과 품질 (quality) 을 강화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Producer III는 박막 재료를 제작하기위한 매우 다양한 고성능 도구입니다. 박막 구조의 뛰어난 균일성과 품질을 제공 할 수 있습니다. 이중 전자 빔 (dual electron beam) 을 사용하여이 모델은 증착 과정을 매우 정확하게 제어하여 복잡하고 고정밀 박막 구조를 제조 할 수 있습니다. 실시간 프로세스 모니터링 (Real-Time Process Monitoring) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 툴을 통해 높은 수준의 프로세스를 제어하고 높은 수준의 품질과 균일성을 보장할 수 있습니다.
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