판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198996

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 증착 프로세스에 대한 다양한 맞춤형 솔루션을 제공하는 고급 증착 시스템입니다. 이 반응 챔버에는 완전한 유연한 소스 아키텍처 (source architecture) 가 포함되어 있으므로 증착 레시피를 특정 고객 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. AMAT Producer GT는 지속적인 웹 증착 기술을 활용하면서 기판 온도, 압력, 유량을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS 생산자 GT 반응 챔버 (APPLIED MATERIALS Producer GT reaction chamber) 의 주요 구조는 다양한 기판 크기와 모양을 지원할 수있는 고품질의 금속 진공 챔버로 구성됩니다. 진공 챔버 내에 위치한 소스는 고출력 RF 발전기로 구성되어 있으며 도가니 (crucible) 로 구성되어 있습니다. 생산 원자로는 또한 자동 정렬 기능이있는 고급 스캐닝 기술을 갖추고 있으며, 정확한 제어 및 균일 한 증착을 제공합니다. 이는 모양과 크기에 관계없이 모든 기판에 대한 일관된 적용 범위를 보장합니다. RF 발전기 및 도가니 (crucible) 는 CVD 소스를 사용하여 알루미늄 필름을 생산하는 증착실에 연결됩니다. CVD 소스는 매우 풍부한 필름 형성 가스 소스를 제공하여 극도로 얇은 필름 (thin film) 을 한 번에 여러 기판에 증착 할 수 있습니다. 또한, 강착 챔버는 기판 온도가 매우 낮아 최대 20oC를 얻을 수 있습니다. 이것 은 "필름 '의 질 을 향상 시켜 주며, 가로세로비 증착 과 접촉 저항력 이 감소 될 가능성 이 있다. 생산성 및 생산성을 극대화하기 위해 생산자 GT (Producer GT) 에는 다양한 고급 도구가 장착되어 있습니다. 온보드 로봇 암 (On-board robot arm) 은 기판을 빠르게 로드하고 언로드하여 프로세스 간의 다운타임을 최소화하도록 설계되었습니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 또한 웹 전송 시스템 (web transport system) 을 특징으로하므로 기판의 전체 롤을 한 번에 적재 및 언로드 할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량이 증가하고 한 번의 실행으로 더 큰 배치 (batch) 크기를 처리할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT는 고도로 고급적이고 맞춤형 솔루션으로, 정밀 증착을 제공하고 생산성을 높일 수 있습니다. 이 반응 챔버에는 자동 스캐닝 (automated scanning), CVD 소스 (CVD source), 로봇 암 (robot arm) 및 웹 전송 시스템 (web transport system) 과 같은 다양한 고급 기술이 포함되어 있어 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.