판매용 중고 APPLIED MATERIALS P 5000 #57339
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판매
ID: 57339
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Core, 8"
AMAT0, generator
CVD
Stored in cleanroom
Can be inspected
1994 vintage.
APPLIED MATERIALS P 5000은 반도체 제조를위한 고출력 이온 임플란터입니다. 도펀트를 반도체 웨이퍼 (반도체 제작의 기본 공정) 에 배치하는 데 사용됩니다. 이 도구 는 다양 한 "에너지 '의" 이온' 을 높은 정확도 로 "반도체 '표면 에 이온 으로 이식 할 수 있다. APPLIED MATERIALS P5000에는 도펀트 프로파일을 정확하게 임플란트 할 수있는 도시 메트리 (dosimetry), 빔 쉐이핑 (beam shaping) 및 빔 에너지 (beam energy) 와 같은 다양한 조정 가능한 매개변수가 있습니다. 또한 내장형 빔 모니터링 시스템 (beam monitoring system) 을 통해 높은 제품 품질 및 프로세스 신뢰성을 보장합니다. P-5000 은 혁신적인 마이크로파 플라즈마 이온 소스 (plasma ion source) 를 활용하여 매우 높은 전류에서 작동할 수 있습니다. 이것 은 전기 로 충전 된 원자 ("이온 ') 를 만드는데, 그 원자 는 가속 되어 빔 에 집중 된다. 그 광선 은 "도판트 '" 이온' 을 정밀 한 각도 와 깊이 로 반도체 표면 에 심는 데 사용 된다. APPLIED MATERIALS P-5000은 또한 최첨단 로봇 시스템을 사용하여 임플랜터에서 웨이퍼의 정확한 위치를 용이하게합니다. 이것은 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 착상을 보장하는 데 도움이됩니다. P5000에는 운영자 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 기능 (예: 연동, 안전 연동) 이 포함되어 있습니다. 또한 직관적인 GUI를 통해 임플란트 매개변수를 쉽게 구성, 모니터링, 조정할 수 있습니다. P 5000 은 반도체 디바이스의 대용량 생산에 적합하며, 고급 기능은 높은 수율과 우수한 제품 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다. 또한 장기적 사용을 처리하기에 충분히 강력하며, 높은 정확도는 임플란트 프로세스 (implant process) 의 주기 시간 감소에 기여합니다.
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